中古 GUYSON KC2 #9181872 を販売中

GUYSON KC2は、GUYSONグループが設計・開発した革新的なウェーハ加工装置です。それは異なった形およびサイズのウェーハを製造するのに使用される費用効果が大きく、非常に効率的で、精密な機械です。KC2は、単一の金属ハブを使用して最大の剛性と安定性を提供し、可変速度駆動はウェーハの線形温度プロファイルを最大450ºCまで正確に制御します。GUYSON KC2のコントローラにより、幅広いレシピを保存し、温度、圧力、転送速度のプログラムを実行できます。システムはガスのパージシステムが装備されており、プロセスの前後に真空チャンバ内の均一なガス分布を保証するためにガス入力の電力、量、速度を制御することができます。これにより、ウェーハ内の空気ポケットを除去し、マイクロ真空ゾーンと島の形成を可能にします。KC2は優れたウェーハの均一性と再現性を提供します。真空ユニットには、効果的なエッチングのための最適な条件を生成する圧力の微調整と効率的な真空制御を含む事前調整機能が装備されています。成膜工具に簡単に組み込むことができ、セットアップ時間を最小限に抑えることができます。ハイテク特許取得済みのウェーハリシェーピングモジュール（WRM）を使用して、ウェーハの形状や形状を変更することができます。また、VEP（真空機器保護）アセットは、潜在的な流出からチャンバーとウェーハを保護します。GUYSON KC2は、使いやすさと柔軟性を重視しています。ウェーハ加工パラメータ、真空、ガス流量、加圧制御は、フロントパネルに直接表示され、ユーザーフレンドリーなインターフェイスで簡単かつ便利に調整できます。さらに、KC2は拡張レシピメモリとデータトレーサビリティのための特定の業界標準コードの使用と互換性があるように設計されています。さらに、標準のSPIインターフェースを使用することで、ユーザー自身の制御機器と統合することができ、より複雑な操作と流通の自動化を可能にします。全体的に、GUYSON KC2は、長寿命の強力で信頼性が高く、効率的な他のウェーハ処理システムです。エネルギー効率に優れた設計と線形温度プロファイルの精密制御により、半導体ウェーハの精密製造に最適です。