中古 GREATSENSE GS-AIR-7 #293670957 を販売中

GREATSENSE GS-AIR-7は、さまざまな産業用途向けに設計されたウェーハ加工装置です。大気プラズマ処理（APP）技術を採用し、高度なウェーハ表面処理と洗浄を実現しています。このシステムは、チューニング可能なプラズマパラメータのユニークな組み合わせを提供し、ユーザーの間で好ましいツールとなります。GS-AIR-7は、ユニットの設定と様々なパラメータの調整を簡単かつ迅速にする自動試運転サイクルを持っています。この機械には、安全で効率的な処理環境を提供する高度なプラズマ処理部品を備えた堅牢な産業用グレードの真空チャンバーが装備されています。GREATSENSE GS-AIR-7には1つの独立したRF電源出力があり、ユーザーは拡張電源範囲のプラズマパラメータを調整できます。また、ユーザーがリアルタイムでツールを制御できるタッチスクリーンインターフェイスが付属しています。このアセットは、インプラント活性化、金属酸化物成分、表面アッシング、表面改質、洗浄など、さまざまな用途に使用できます。全体として、GS-AIR-7は、調整可能なプラズマパラメータ、コンピュータ制御のエンドポイント検出、エラーレポート、アラートメッセージ、自動試運転などの包括的な機能を提供し、直感的で効率的なウェーハ処理体験を提供します。GREATSENSE GS-AIR-7モデルは、耐久性と長寿命のために設計されており、信頼性と強力なプラズマ処理に必要なすべてのコンポーネントが含まれています。処理に不活性な雰囲気を提供する真空タイトチャンバーを使用して、汚染を低減し、生成されたプラズマの寿命を最大化します。統合ベクトルネットワークアナライザは、ユーザーが放出されたプラズマの振幅と位相特性を正確に測定するのに役立ちます。また、プラズマ源の選択に関しても柔軟性が高く、様々な用途に対応できます。システムのデフォルトバージョンには、生成されたプラズマパラメータを線形と非線形の両方のレジームで測定するための2ポイントベクトルネットワークアナライザが装備されています。さらに、オプションの高度なプラズマ源をユニットに追加することで、より高い精度と精密な洗浄を実現できます。GS-AIR-7は、イオン注入、アブレーション、水系洗浄、水分補給、エッチング、アニーリング、降水、原子層の堆積など、さまざまなプロセスをサポートしています。同様に、ファン制御オプションを使用すると、異なるターゲット基板のプロセスパラメータを最適化できます。さらに、ウェーハトポグラフィを評価するウェーハマッピング機能を搭載し、さまざまなプロセスアプリケーションに適したツールとなっています。GREATSENSE GS-AIR-7は、優れた性能と高い処理速度を提供する効率的なウェーハ処理資産です。