中古 GREATSENSE GS-AIR-10 #293670974 を販売中
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ID: 293670974
System
Capacity:
Down line and space: 7 μm
Copper thickness/space: ≤ 1.2
Materials:
Substrates: FR4, FR5, BT, PI, ABF
Thickness of substrate: 30 µm
0-70 µm thickness of copper
Efficiency:
Copper thickness: 18 µm
Defect size: 60x60 µm², 300x300 µm²
Time (s): 45, 180
Connectivity:
ORBOTECH
CIMS
Machvision
YMZ AOI
GREATSENSE AVI
Informational functions:
QR Code reading functions
Reports
MES
Defect maps/heat maps
Board size: 760x680 mm²
Board thickness: 50-10000 µm
Penetration to laminate: ≤ 10 µm
Deviation from normal line width: ≤ ±15%
Re-inspection magnification: 25X-275X
Available with customer-specific automation functions
Power supply: 220 V, 4.5 kW.
GREATSENSE GS-AIR-10は、高スループットの量産プロセス向けに設計された、完全に自動化された精密なウェーハ処理装置です。このシステムは、全体的なスループット、効率、および信頼性を向上させるさまざまな機能を提供します。GS-AIR-10は、1つの処理サイクルで最大10個のウェーハを処理することができ、高スループット生産を可能にします。インテリジェントで自動化された機能により、新しいプロセスや製品への迅速な適応が可能になり、手動による介入が不要になります。単位は2つの主要な部品から成っています;ガントリーロボットウェハハンドラとプロセスチャンバー。ガントリーロボットウエハハンドラは多軸ロボットアームで、プロセス室内外のウエハの正確な取り扱い方法を提供します。ガントリーロボットは、ウェーハサイズや向きなどのさまざまな構成で設定でき、さまざまなタイプのウェーハを簡単に処理できます。プロセス部屋は焼きなましおよび焼結プロセスのための1000°Cまで温度を可能にします。それに必要な、低雑音の真空機械があります10-2 Torrまでのレベルへの調節を可能にします。このツールは、プロセス固有の治具、ウェーハ転送コンポーネント、毛布ボックスなどを選択して、顧客のニーズに応じてカスタマイズできます。GREATSENSE GS-AIR-10は、最大の稼働時間と障害解析用に設計されています。制御アセットはリアルタイムのデータロギング機能を備えているため、モデルデータを監視し、障害をすばやく特定して診断することができます。さらに、熱破断率などのユーザー定義可能なパラメータを備えた高度な制御装置を備えています。また、スループットを最適化し、生産性と再現性を向上させるための高速ランプダウン時間のための自動チャンバー圧力イコライゼーションも可能です。このシステムは、安全性と環境保護を念頭に置いて設計されており、追加の安全保証のための防爆設計があります。GS-AIR-10は、高度な半導体プロセスに最適なソリューションであり、温度、圧力、およびウェーハ処理のための高効率ユニットの精密制御を必要とします。プロセス制御を追加するために、機械は精度を確保するために自動ウェーハ位置アライメントツールを装備することができます。GREATSENSE GS-AIR-10は、高いスループット処理と信頼性の高いパフォーマンスを提供し、大量のウェーハ処理に最適です。
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