中古 GRANVILLE PHILLIPS 330 #9094144 を販売中

GRANVILLE PHILLIPS 330は、最適な薄膜ウェーハ加工用に設計された最先端のウェーハ加工装置です。ガスボックス設計により、優れた圧力と温度制御を実現し、精密な薄膜性能を実現しています。また、ウェーハテーブルに簡単にアクセスでき、エッチング工程全体で素早くサンプリングできます。また、0。2 Angstromsの小さなステップでエッチングの深さを調整することもできます。330にはプログラム可能な高周波RFジェネレータが含まれており、電力レベルで信頼性の高い薄膜品質を保証して6kWます。このシステムには、正確な温度測定のための低圧ピロメーターと、圧力範囲が10-7 Torrの真空ユニットもあります。RFジェネレータとウェーハテーブルは、ウェーハ全体で最適な精度と良好な均一性を確保するために、調整可能です。機械のopto機械段階およびソフトウェアは均一なエッチングおよび正確な登録のための優秀なウェーハの整列を提供します。ソフトウェアは、追加のウェーハフォーマットをサポートするようにアップグレードすることができるので、GRANVILLE PHILLIPS 330は、さまざまな種類の処理に使用することができます。このツールはまた、バッチ処理を可能にし、より効率的に時間とコストを節約します。330は、オペレータだけでなく、インフラストラクチャを保護するために複数の安全システムを搭載し、最適な安全のために設計されています。外部ガス供給資産（EGSS）は、停電時に危険なガスがチャンバーに入らないようにし、安全インターロックモデルはアクティブ機器とユーザーの間に重要な障壁を作り出します。このシステムには、水流モニターと緊急時の自動シャットダウン機構も装備されています。GRANVILLE PHILLIPS 330は、最高品質の薄膜ウエハを一貫した性能で製造するように設計された先進的なウエハ加工ユニットです。その精密機能と多数の安全システムにより、ラボや産業用途に最適です。さらに、複数のフォーマットを処理する機能とバッチ処理機能により、業界ユーザーにとって魅力的な選択肢となります。