中古 EXTRON DMS 3600 #9313979 を販売中

EXTRON DMS 3600は、半導体業界のニーズに応えるために設計された最先端のウェーハ加工装置です。最高の品質と精度を要求するコストに敏感な生産ラインに最適です。DMS 3600システムは、ウェーハストッカー、ハンドラー、プロセッサの3つのサブシステムで構成されています。ウェーハストッカーは、自動化されたウェーハ管理ユニットです。最先端のモーションコントロールデバイス、高度なビジョンシステム、階層的な画像認識技術を備えており、ウェーハの欠陥を迅速に特定できます。ハウジング内にはV型プレートがあり、いつでも最大20個のウェーハを保管できます。ハンドラーは自動搬送機です。マルチドライブモータと高速ウェーハ搬送用の高周波ダイレクトドライブデジタルモータを搭載しています。また、リニアサーボモータや高解像度ビジョンツールを搭載しています。これにより、ハンドラーはストッカー内の各ウエハを正確に検査し、見つけることができます。Handlerは、ドライバーにロードし、チャックテーブルに配置し、プロセスステーションにロードするなど、サイクルごとに最大8個のウェーハを搬送できます。プロセッサは、高性能ウェーハ処理アセットです。これは、チャックテーブル、複数のボードレベルコンポーネント、およびマイクロプロセッサ制御ドライブモデルで構成されています。この装置は、ミクロンスケール範囲のサイズを含む幅広いウェーハを処理することができます。マイクロプロセッサ制御ドライブシステムを使用することで、プロセッサは特定のプロセス要件に合わせて校正することができます。プロセッサは、個々のウェーハごとに真空レベルと露光時間、または必要に応じてウェーハのバッチを調整することもできます。全体的に、EXTRON DMS 3600ユニットは、他のウェーハ処理ニーズに最適なソリューションです。高品質のパフォーマンスと正確性を兼ね備え、総所有コストを低減します。このマシンは、インストール、使用、メンテナンスが比較的簡単で、生産ラインの自動化を検討している人にとってスマートな選択肢です。高速輸送能力、高度なビジョンシステム、階層画像認識により、欠陥の低減、品質の向上、コストの削減に役立ちます。