中古 EVANS E-DOC-SD-1SR-00YX-D1 #293649932 を販売中

EVANS E-DOC-SD-1SR-00YX-D1ウェーハ加工装置は、半導体基板の汎用性の高い製造工程向けに設計された、汎用性の高いコンパクトなデバイスです。このシステムは、表面処理、パーティクルコーティング、スピンコーティング、エッチング、レジストストリッピングなど、さまざまなプロセスを実行することができます。メインフレームとバッチプロセッサという2つの主要コンポーネントを1つのユニットに統合し、合理化されたワークフローを実現します。メインフレームは、さまざまなパラメータと設定を備えた高精度のクローズドループ制御ユニットを備えており、ウェーハ処理ステップの微調整とカスタマイズを可能にします。また、インタラクティブなヒューマンマシンインターフェイスを備えており、オペレータはプロセスパラメータを監視および調整できます。さらに、温度測定と抵抗温度検出器を備えており、温度範囲を測定することができ、繰り返し可能で一貫した品質管理が可能です。バッチプロセッサは、実行時間と速度、加熱プロファイル、およびプロセス時間を含む複数のウェーハパラメータのプログラミングを可能にします。これにより、素早く正確に高品質な基板を再現することができます。さらに、このツールは、リアルタイムのトレーサビリティと結果の検証を可能にする本番データのアーカイブおよびレコードリポジトリとして機能するオンボードストレージを備えています。E-DOC-SD-1SR-00YX-D1は、迅速なプロセスサイクルと効率的な歩留まりを可能にする強力なウェーハ処理資産であり、小規模および大規模生産の両方に適しています。その汎用性により、ウェハバンピングや再配布からフォトリソグラフィープロセスまで、さまざまな半導体アプリケーションに最適です。このモデルは、さまざまなパラメータや設定、高精度制御装置により、研究開発にも最適です。