中古 ESCAL YF-03SUS #9179924 を販売中

ESCAL YF-03SUS Equipmentは、ウェーハ加工用の先進的な薄膜成膜ツールです。このシステムは、高い信頼性を提供するように設計されており、幅広い用途に対応する汎用技術を備えています。YF-03SUSは、最大直径8インチのウェーハ上のデバイスを製造することができます。このユニットは、エネルギー効率の高いリソースを使用して、高スループットで経済的な動作を実現するように設計されています。ESCAL YF-03SUS機は、複数のウェハ上で一度に焼結、蒸着、物理蒸着（PVD）が可能です。焼結プロセスにより、異なる2つの材料を直接接合することができますが、蒸着およびPVDプロセスは、一連の作業や一時的な貯蔵などのさらなる処理ステップに最適な基盤を提供します。このツールはまた、コリメートされたソースと制御された蒸発を使用してコンフォーマルコーティングプロセスをサポートし、より高い乾燥固体負荷を達成します。様々なアモルファイズ技術を用いることで、厚みの広いフィルムの高度な成膜技術を実現できます。YF-03SUSは、生産サイクルごとに再現性を確保する正確な制御アセットを提供し、ウェーハの搬送と向きの柔軟性を提供し、汚染を最小限に抑え、マスクとウェーハのずれを防止します。コンピュータ制御のデータ収集モデルを使用して、ウェーハプロセスに関する正確なデータを取得し、監視、データロギング、オンライン最適化を行うことができます。ESCAL YF-03SUSは、薄膜製造需要向けに設計された高度な蒸着コントローラを搭載しています。これらのコントローラは、プロセス制御、安定化、フィードバック最適化のための洗練された機能を提供します。さらに、リアルタイムのデータ収集を使用して、プロセスの最適化の機会をリアルタイムで特定できます。また、オゾンや有害な化学物質の排出を最小限に抑える統合安全機能を提供し、自動シャットオフを提供し、システムの寿命を延ばし、環境への影響を低減します。全体として、YF-03SUSユニットは、薄膜成膜およびウェーハ処理において最高レベルの精度、再現性、信頼性を確保するように設計されています。このマシンは、すべての生産サイクルでプロセスの精度と信頼性をお探しの方に最適です。