中古 ESCAL YF-03SUS #9137630 を販売中

ESCAL YF-03SUSは、集積回路（IC）ウェハの製造のための動作速度と効率を提供するために設計された特殊なウェハ処理装置です。本製品は、材料層の同時成膜とウェハ表面の正確なパターニングを可能にし、回路を形成します。この高度なウェーハ処理システムは、厳しい産業規格に適合するように構築された多数のサブコンポネントを含む保護ハウジングで構成されています。YF-03SUSの中心には自動ローディングチャンバーがあり、関節式ロボットアームを使用してさまざまなウェハタイプを基板成膜およびエッチングプラットフォームに正確にロードします。ロボットアームには、ウェーハの存在と向きにシームレスに適応できるセンシングおよびフィードバック技術が搭載されています。ウェーハの高精度なグリップと操作に加えて、ロボットアームをプログラム的に向けることで、成膜およびパターニングプラットフォームに基板を配置することもできます。最大の柔軟性のために、そのメニュードライブのセットアップはウェーハに材料の堆積を制御するために調節することができる堆積パラメータの広い範囲を提供します。ESCAL YF-03SUSは、オンボードLCDモニターとWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）で構成されるデュアルデジタルコントロールユニットを備えています。このマシンは、処理ツールの監視と操作を可能にし、堆積プロセスを制御するために必要なパラメータの視覚的なフィードバックを提供します。さらに、このソフトウェアは、リアルタイムデータ取得、自動化されたプロセスレシピ、主要なパフォーマンス指標のメンテナンスなどのユーザーフレンドリーな機能を提供し、1つのパターニングジョブから次へのスムーズな移行を保証します。YF-03SUSはまた、ウェーハに材料を堆積するために低温プロセスを利用する熱プレート技術を備えています。底板は加熱されたチャンバーに保持され、堆積プロセス中に一貫した温度を維持するのに役立ちます。このプロセスは、高密度の集積回路パターンを優れた精度と一貫性で作成するのに理想的です。ESCAL YF-03SUSウェーハ処理資産は、迅速かつ正確なウェーハ処理能力を提供するように設計されています。ウェーハエッチング、成膜、パターニングの1つのプロセスツールとして機能し、幅広い製品の特定の配信に合わせてカスタマイズおよび調整できる優れた動作速度と効率を提供します。直感的な制御装置、堅牢なアーキテクチャ、さまざまなウエハータイプのサポートにより、YF-03SUSはあらゆる生産環境に最適なソリューションです。