中古 ESA Ultima Plus #9097308 を販売中

ESA Ultima Plusは、半導体製造の統合ソリューションをユーザーに提供するために設計された最先端のウェーハ処理装置です。このシステムは、業界標準のUltimaプラットフォーム上に構築されており、精密駆動機構、制御システム、画像取得、視力検査などの多くの機能が組み込まれています。ウェーハローダー、ヒーター、露出後のベーキングステーション、レーザー検査機を備えています。要件に応じて、Critical Dimension Scanning Electron Microscope、 Electron Beam Inspection、 Etch Probingなどの特定のツールが機器スイートに追加されることがあります。ウェーハは、温度、湿度、圧力を制御した専用環境で処理され、クリーンで再現性のある製造プロセスを保証します。このツールには、ローディングまたはアンロード時に発生した不具合を検出するためのウェーハアライメントおよびウェーハスティーション検出機能が装備されています。アライメントアセットにより、加工チャンバ内のウェーハのアライメントが保証され、粘着検出モデルがウェーハと加工チャンバ間の接着を検出して測定します。Ultima Plusには、各レイヤーの処理パラメータを自動的にマッピングおよびキャリブレーションするための制御機器も含まれています。また、自動データロギングシステムを使用して、各ウェハの処理情報を保存および追跡することもできます。これにより、時間の経過とともにプロセスの最適化が可能になり、プロセスの初期段階で潜在的な問題を特定することで、ダウンタイムを大幅に削減できます。また、SPC （Statistical Process Control）などの各種ソフトウェアパッケージを搭載し、生産パフォーマンスの監視やプロセスの最適化を実現しています。これは、より高い収率とスループットを達成するのに役立ちます。ソフトウェアはまた、機器の性能のリモート監視をサポートしており、予知保全と問題の早期発見を可能にします。ESA Ultima Plusは、特定のユーザー要件を満たすようにカスタマイズできる汎用性の高いプラットフォームです。このマシンは業界規模のアプリケーションに最適で、ユーザーがウェーハ処理を最大限に活用できるように設計されています。