中古 ERNST PF 3300 #293650933 を販売中

ERNST PF 3300は、高温シリコンウェーハの精密加工・取り扱いが可能なウェーハ加工装置です。このシステムは、シリコンウェーハ上のさまざまな材料の成膜とエッチングを可能にするように設計されています。ウェーハの薄型化、裏面ラッピング、ウェットケミカルエッチング、さらには酸化などのプロセスを実行する際に、高い精度、制御、再現性を提供するように特別に設計されています。このユニットは、シリコン、ゲルマニウム、石英、GaAs、サファイアなどの複数の基板を扱うことができます。ウェーハのサイズは50mmから300mmの範囲で、合計8つのウェーハを一度に処理できます。PF 3300は、基板ウエハの精密かつ信頼性の高い処理が可能なロボットアームで設計されており、材料の最適なエッチングと成膜が可能です。このツールはまた、超薄膜の精密な堆積とエッチングを可能にする不活性環境を備えています。ERNST PF 3300のウェーハエッチングチャンバーには窒素やヘリウムなどの不活性ガスが充填されており、材料の精密なエッチングを正確な温度で容易にするように設計されています。また、超薄膜加工に重要な温度制御アセットを搭載しています。エッチング工程中のウェーハの酸化を防ぐため、チャンバーは温度制御されています。また、ダイヤモンドラップを内蔵したウェーハの裏面ラップも精密に行うことができ、ウェーハ裏面から余分な素材を正確に除去することができます。ダイヤモンドラップは、ラッピングプロセスに影響を与える可能性のある振動や揺れを防ぐために、ウェーハホルダーに収納されています。PF 3300は高温シリコンウェーハの特定の処理のために設計された強力な装置です。このシステムは、堅牢でコンピュータ制御された機械により、数分でさまざまな材料を正確かつ信頼性の高い処理が可能です。このユニットには不活性環境とダイヤモンドラップが装備されており、その汎用性を高め、ユーザーは特定のプロセス要件に応じて操作を調整することができます。