中古 ENTEGRIS Ultra-6102 #9156643 を販売中

ENTEGRIS Ultra-6102は、多様なウエハサイズとタイプを迅速かつ正確に処理するように設計された完全自動ウェーハ処理装置です。最大300mmまでのウエハ加工が可能で、大容量・高スループット処理が可能です。このシステムは、最高の精度と精度のために設計されており、ラボ環境での研究用途から工業生産処理に至るまで、さまざまな用途に適しています。Ultra-6102はウェーハローダー、ウェーハハンドラ、プロセスヘッド、スピナーアセンブリで構成されています。ウェーハローダーは、一度に最大25個のウェーハを収容できる真空駆動ユニットです。ハンドラコンポーネントにはマルチカメラマシンがあり、処理の準備ができているウェーハを検出して正確に配置することができます。プロセスヘッドには、物理的および化学的処理のための複数のツールが装備されています。各ツールは個別にプログラム可能であり、材料の正確なエッチングと成膜を可能にします。スピナーアセンブリも調整可能で、22,000rpmまでのウェーハを迅速かつ正確にスピンできます。ツール全体がモバイルプラットフォームにマウントされているため、生産ラインやロケーション間で簡単に移動できます。オプションで、アセットには効率と出力を追跡するin-sysytemパフォーマンスモニターを装備できます。ENTEGRIS Ultra-6102は、幅広いウェーハサイズで正確かつ正確な処理サイクルを提供できる、最先端のウェーハ処理モデルです。精度と効率が最も重要な科学研究所や工業生産ラインに最適です。装置は簡単に可動でき、非常に汎用性が高く、かつてないレベルの柔軟性を提供します。