中古 EMC Spirit 30 IPA #9229741 を販売中

EMC Spirit 30 IPA （Inline Processing Application）は、半導体およびマイクロエレクトロニクス製造向けに設計された、柔軟で機敏な生産自動化装置です。このシステムのモジュール設計により、既存の半導体技術プラットフォームに容易に統合できます。このユニットは、ロボットコントローラ、自動ウェーハ搬送機、高精度ウェーハ処理ユニットなど、複数のコンポーネントで構成されています。ロボットコントローラは、複数の制御アルゴリズムでプログラムされた統合されたPCによって駆動されます。このコントローラは、ウェーハトランスポートツール全体を正確かつ確実に同期および制御することができ、効率的かつ正確な内部プロセスを可能にします。ロボットコントローラの中核には、複雑なウェーハ処理を可能にし、オペレータが希望するプロセス結果を達成するためにカスタマイズすることができるロボットロジックソフトウェアがあります。ウェーハトランスポートアセットは、ウェーハを処理の1ステップから次のステップに高信頼性かつ高速に移動するように設計されています。このモデルは、あらかじめプログラムされた一連のシーケンスによって操作され、目的地への配送を確実にするために移動経路を監視します。ポリ塩化ビニールの棒、取付けられた球の移動およびウェーハが安全そして効率的に目的地に原点から作ることを保障するためにタンデムで働く線形アクチュエータの組合せを使用して装置は造られます。処理ユニットは、実際のターゲットウェーハが処理される場所です。このユニットは真空チャックと一連のプロセスチャンバーで構成されています。「光学」チャンバーは、ウェーハをターゲットのウェーハまで確実にグリップして処理する責任があります。「フィーダー」チャンバー内のシートフィーダにより、複数のウェーハ転送を同時に完了できます。「プロセス」チャンバーには複数の物理的および化学的プロセスが含まれており、それが処理されると同時にウェーハに材料をエッチングして堆積させます。Spirit 30 IPAは、カップリング、スライス、ダイシング、およびその他の繊細なマイクロエレクトロニクスプロセスを提供するように設計されています。このシステムの複数の工具、機械輸送、高精度処理機能は、あらゆる半導体やマイクロエレクトロニクスメーカーにとって理想的な選択肢です。幅広いターゲットウエハの処理能力と生産方法により、既存の生産ラインに容易に組み込むことができます。