中古 ELMA X-tra Line 800 #293605217 を販売中

ELMA X-tra Line 800は、超高真空および高温プリクリーン/ポストクリーンに適した「Other Wafer Processing」装置です。自動化されたシングルウェーハ処理プラットフォームであり、150mmから300mmまでのサイズのウェーハを処理するように設計されています。このシステムは強力なブラシレス電源を備えており、高圧噴霧やブラシ加工能力などのクリーニングパラメータを制御します。また、高圧プラズマ機能と基板保存機能も備えています。このユニットは、エッチング、蒸着、または洗浄プロセスを使用してウェーハを処理できます。その2つの300mm幅のプロセスチャンバーは、高圧スプレー、ブラシ加工などの能力を備えています。この機械には、洗浄前および洗浄後のプロセスで迅速な応答が可能なコントローラが装備されています。このツールには、移動検査を実行できる高速スキャンヘッドが含まれています。また、洗浄前および洗浄後のプロセスでサンプルを検査するための光学顕微鏡を備えています。このアセットには、正確なウェーハ配置と位置決めのための人間工学に基づいて設計されたマイクロポジションモデルが装備されています。X-tra Line 800は、1つのサイクルで複数の処理ステップを実行できます。高度なウェーハ検査装置（AWIS）と自動ステージモーションコントロール（ASMC）を搭載し、プロセスとウェーハ制御を強化しています。このシステムは、ヒーター、針、ソレノイド、および交換が容易なフィルタなどのコンポーネントを含む簡単なメンテナンスのために設計されています。また、モジュラー設計により高効率であり、多種多様なプロセスに対応した容量と柔軟性を提供します。このマシンには、リアルタイムデータとトレンド分析を提供する柔軟なプロセス監視ツールが装備されています。全体として、ELMA X-tra Line 800は自動化されたシングルウェーハ処理プラットフォームであり、高速スキャンとプロセス機能、高度なウェーハ検査および自動ステージモーション制御を提供します。超高真空・高温前後洗浄に適しており、強力なブラシレス電源、高圧スプレー、ブラシ加工能力を備えています。このアセットは、ヒーター、針、ソレノイド、および交換が容易なフィルターなどのコンポーネントを備えた簡単なメンテナンスのために設計されています。