中古 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9143535 を販売中

ID: 9143535
ヴィンテージ: 2002
Wafer cleaner (10) Stations Software Manuals: installation, operation, maintenance 480V, 3 phase, 100A, 82kVA Pneumatic power supply: 6-7 bar, 1.5Nm3/H 2002 vintage.
ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTは、マルチチップまたはハイブリッドアセンブリアプリケーションの製造に伴う製造コストを削減するために設計された、その他の自動ウェーハ処理装置です。コンパクトで信頼性の高いパッケージで、高精度のウェーハ加工とチップマウント技術を提供するオールインワンマシンです。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTは、最大直径8〜20インチ、最大厚さ10〜100umの小径および標準サイズの両方のウェーハを処理できます。小型チップのディテール検査用の高解像度イメージングピンホールカメラと、ウェハの配置やエッジ登録を制御する高精度ステッピングモータを搭載しています。マウントヘッドは、余分なツールなしで最大3mmの厚さのウェーハを処理することができます。ELMA HS350/100/300/6-ABS-WLTは、自動薄型化とクリーニングステーションも備えています。このステーションは、ウェーハの厚さを制御し、ウェーハ表面から微粒子を除去するための2段階のプロセスを利用しています。このシステムは、エッチング、研削、ラッピングなどのさまざまなウエハプロセスをフル機能で実行し、効率を高めるために自動化をアンロードすることもできます。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTウェーハ処理ユニットは、プログラミング、診断、データ収集に高度なソフトウェア機能を利用しています。直感的なタッチスクリーンと、クイックプログラミングのための統合されたコマンド言語で、非常にユーザーフレンドリーに設計されています。また、ウェーハ速度、ウェーハ圧力、ウェーハ番号、ウェーハ位置などのプロセスパラメータをリアルタイムで監視し、高精度で一貫したプロセス結果を保証します。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTは、1時間あたり最大3500個のウェーハを処理し、大量生産ラインに最適です。このマシンの柔軟な構成により、処理場所ごとに最大10個のウェーハキャリアを備えた幅広いスループットを実現できます。これにより、異なるタイプの製品を処理する場合や、生産をスケーリングする場合に柔軟性が得られます。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTは、マルチチップまたはハイブリッドアセンブリアプリケーションを製造するための効率的で信頼性の高い他のウェーハ処理ツールです。高度なイメージングセンサー、品質チェック、柔軟な構成により、ウェーハの製造に伴う製造コストを削減し、全体的な生産率を向上させることができます。
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