中古 ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9060500 を販売中

ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTは、集積回路、MEM、オプトエレクトロニクス、その他の用途のために、さまざまな層からなるアルミニウム、ガリウム、ヒ素、酸化物、シリコンなどの繊細なウェーハをコーティングするために特別に設計されたウェーハ処理装置です。特許取得済みのアンギュラーベアリング技術により、ウェーハ表面の不均一性とボイドを除去し、基板とウェーハのバランスを保ちます。これにより、均一な膜厚を可能にし、プロセスとコスト効率を向上させます。オプションの追加ヘッドを備えたディスペンスコーティングヘッドと、マスクの位置決めなどのカスタムメイドの適応により、ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTは、コンフォーマルコーティング、フラックスコーティング、薄膜成膜、および高い精度と制御性を備えたナノコーティングなど、さまざまな作業を実行できます。さらに、短いコーティング長さ、高い加速と減速、およびウェーハの品質を維持するための冷却技術によりコストを削減し、処理中の過熱や酸化を防ぎます。ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTには、ウェーハの変形や欠陥を検出するインラインメトロロジーと3Dイメージングシステムの両方が装備されています。プロセス中の欠陥を排除することで、高い歩留まりと製品の均一性を確保できます。また、スループット率、サイクルタイム、欠陥レートなどのプロセスメトリクスのリアルタイムデータと監視をサポートし、精度を向上させ、オンラインプロセスの最適化を可能にします。オペレータは、プロセス中にアラームとトリガーを提供し、トレーサビリティと記録プロセス履歴の規制遵守を提供することもできます。さらに、このマシンは高度な接続プラットフォームなどのユニークな機能を内蔵しており、最大8つの基板が一度にツールと互換性があります。これらのすべての機能は、ウェーハコーティングの重要なアプリケーションの効率と品質を向上させるように設計されています。全体として、ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLTは、業界最高水準の精密かつ高品質のウェーハコーティング機能を提供する高度なウェーハ処理資産です。ユーザーフレンドリーで経済的で、最も厳格で困難な要件を満たすことができます。