中古 ELMA 660H #9401119 を販売中

ELMA 660Hは、ICウエハの包括的かつ再現可能な洗浄用に設計された高度な自動ウェハ処理装置です。このシステムは、ICウェーハキャリアの自動クリーニング反転用の4チャンバー、タッチレスのC+S 400Lモジュールです。このモジュールは、直径6インチまでのウェーハの業界標準です。660Hは、前面と背面の両方に取り付けられたICを洗浄および処理するための幅広い技術、プロセス、および処理を提供します。ELMA 660Hは、調節可能なチャンバー塩素濃度を備えた完全密閉ユニットを備えており、シングルサイドからダブルサイドのバッチ処理までの完全なプロセス制御を提供します。660Hのチャンバーサイズにより、用途や表面積に関係なく効率的にウェーハを処理できます。ELMA 660Hには、ウェットスクラブ洗浄室、デグレーズチャンバー、精力的に強化されたCMP（化学機械研磨）チャンバー、および延長接触洗浄および乾燥チャンバーが備わっています。湿式スクラブ洗浄室は、CMP処理前に粒子や汚染物質を除去するように設計されています。この洗浄プロセスは、粒子やその他の種類の汚染を除去し、ICの性能を妨げる可能性があります。ウェットスクラブ洗浄後、デグレーズチャンバーはウェーハ表面に残っている可能性のある残留物を除去するために使用されます。精力的に強化されたCMPチャンバーには、調整可能な塩素ベースの濃度温度が装備されており、ウェーハ径を変化させるための完全に自動化された反復可能でプログラム可能な表面適応プロセスを提供します。このチャンバーは、ICの裏側のin-situ マルチレベルCMPにも対応しています。最後に、拡張接触洗浄および乾燥チャンバーを使用して、ウェーハの最終的な洗浄と乾燥を行います。柔軟な生産のために設計された660Hは、自動システムを使用してキャリアのロードとアンロードを行い、プロセス制御を提供します。さらに、オプションのオゾンクリーニングモジュールをマシンに追加することで、ウェーハ表面の粒子や残留物をさらに除去することができます。さらに、このツールは、すべての一般的なデータトラッキング形式をサポートしており、完全なトレーサビリティとプロセスドキュメントを可能にします。要約すると、ELMA 660Hは、ICウェーハの包括的かつ再現可能な洗浄と処理のために設計された高度な4 チャンバーC+S 400L自動ウェーハ処理アセットです。調節可能なチャンバーの塩素濃度と、キャリアのロードとアンロードのための自動システムを搭載し、660Hはまた、プロセスのトレーサビリティとドキュメントのためのすべての一般的なデータトラッキング形式をサポートしています。