中古 ECD SuperMOLE Gold #9246156 を販売中

ECD SuperMOLE Goldは、高度な化学および高出力マイクロ波エネルギーを利用して、ウェーハ基板表面に優れた熱プロファイルを提供する先進的なウェーハ処理装置です。このシステムは、高アスペクト比の構造からMEMS構造まで、あらゆる種類のウェハ構造に適しています。ユニット自体は、ロードロック、中央処理ユニット、3軸モーションマシン、真空チャンバーなど、いくつかの部品で構成されています。ロードロックにより、最大24個のウェーハを一度にロードでき、各ウェーハは処理開始前に特定の温度に加熱することができます。3軸モーションツールは、ウェーハの平坦化、研磨、表面計測などの用途において、さまざまな3次元移動を提供します。真空チャンバーには、温度、圧力、および光に敏感な複数のセンサーが装備されています。SuperMOLE Goldの高出力マイクロウェーブエネルギーは、ウェーハ基板に優れた熱プロファイルを提供するように設計された高度な化学物質を使用して、他の技術よりも優れた加熱プロファイルを提供し、従来のウェーハ処理システムと比較して最大75％のプロセス時間を短縮できます。また、1000°Cまでの温度をわずかな時間で達成することができます。ECD SuperMOLE Goldの後ろの技術はまた処理の直後にウェーハの急速な冷却を可能にします。このトータルプロセス時間の短縮により、スループットが大幅に向上し、従来のウェーハ処理システムに伴う待ち時間を削減できます。SuperMOLE Goldには、プログラム可能な繰り返し可能なスクリプトとリアルタイムデータ監視もあります。この高度なウェーハ処理資産には、自動キャリブレーションと安全性のアップグレードも含まれており、手動のデータ入力とプログラミングの必要性を軽減または排除します。全体として、ECD SuperMOLE Goldは、ウェーハ処理のいくつかの側面を改善するように設計された汎用性、信頼性、費用対効果の高いウェーハ処理モデルです。高温と高速な冷却時間を達成する能力は、従来のシステムと比較してプロセス時間を短縮します。また、高度な化学物質の追加や自動設定も重要な機能であり、SuperMOLE Goldはウェーハ処理アプリケーションにとって非常に望ましいプラットフォームとなっています。