中古 ECD Mega Mole 20 #9011600 を販売中

ECD Mega Mole 20は、最大200mmまでの幅広いウェーハサイズに対応できるように設計された特殊なウェーハ処理装置です。大容量ウェハの製造に使用される自動化システムですが、少量またはプロトタイピングアプリケーションにも使用できます。このユニットは、ウェーハハンドラ、レイアウトツールボックス、イメージプロセッサ、コントローラの4つの主要コンポーネントで構成されています。ウェーハハンドラーは、処理機にウェーハを移動させる責任があります。これは、最適な品質結果を確保するために正確かつ効率的に設計されています。ハンドラーはステッピングモーターを使用して迅速かつ正確な位置決めを提供し、一度に最大50ウェーハを保持できます。ヒ素ガリウム、シリコン、III-V、化合物半導体など、さまざまなウエハータイプに対応しています。レイアウトツールボックスは、レイアウトパターンの作成を担当します。フォトレジストコーティング、フォトイメージ開発、リフトオフ、エッチング、ストリッピングなど、最大5つのプロセスを同時に実行できます。この多層エッチング技術は、高精度で細線幅やピッチなどの正確なパターンを製造するために使用できます。イメージプロセッサは、画像解析アルゴリズムを適用して、レイアウトツールボックスによって作成されたパターンのサイズと品質を検証するビジョンツールです。その洗練されたアルゴリズムは、サイズ、形状、位置に基づいてウェーハの欠陥を識別し、分類するように設計されています。また、プロセスパラメータをリアルタイムで追跡し、品質パラメータを生産中に維持することもできます。コントローラーは資産の頭脳です。処理モデルをプログラムして管理するための直感的で使いやすいインターフェースと、結果をカスタマイズするためのパラメータの調整を提供します。レシピレシピを保存して後続の実行を簡素化することも可能であり、マルチレイヤー開発などの複雑な操作を簡単に定義することができます。要約すると、Mega Mole 20は、大量生産の自動運転と、少量またはプロトタイピングアプリケーションの柔軟性を提供する汎用性の高いウェーハ処理装置です。精密な動きと画像解析アルゴリズムにより、高品質で複雑なパターンを作成でき、使いやすいプログラミングツールは、信頼性の高いウェーハ処理システムを求める企業にとって理想的な選択肢です。