中古 ECD 1140A #9171817 を販売中

ECD 1140Aは、多くの業界でウェーハ処理に使用されるツールです。この装置は、半導体産業で使用されるシリコン、ヒ素ガリウム、ゲルマニウムなどの材料基板からのウェーハの製造を容易にします。また、半導体の試験および品質保証に使用される基板プローバとしても倍増しています。1140Aは、さまざまなウェーハプロセスを実行します。ウェーハの積み下ろし、クリーンウェーハの積み下ろし、各種成膜、酸化、エッチング、研磨、パッシベーション、ポスト成膜処理が可能です。ECD 1140Aは、高精度で正確なウエハハンドリングシステムを備えています。このユニットには、ウェーハハンドリングチャンバー、基板ハンドラー、カセットローディングステーション、およびウェーハローディングおよびアンロードアームが含まれています。これらのコンポーネントは、ウェーハをさまざまなウェーハ処理チャンバ間で移動させることができます。また、高度なデジタルコントローラを搭載しており、ロボットシステムとのインターフェースや、さまざまなプロセスを正確に実行するためのデジタルコントロールコマンドの生成が可能です。基板ハンドラは、制御ツールと組み合わせて、ウェーハ処理チャンバのさまざまなプラットフォーム上にウェーハを正確に配置することができます。また、ウェーハの積み降ろし時にも高い精度を発揮し、ウェーハの処理や取り扱いにおいてウェーハに与えるダメージを最小限に抑えます。さらに、ウェーハ表面を掃除する真空モデルを採用し、処理前にウェーハ表面からほこりや不要な粒子を除去します。1140Aは、各プロセスで正確で高品質な結果を提供することができます。ウエハハンドリング装置には、精度を確保し、プロセス中のエラーを防止するためのカメラとセンサーが装備されています。さらに、制御システムは各プロセスを正確に制御することができ、製品の一貫性と製品品質の向上を可能にします。ECD 1140Aは、ウェーハ処理に使用される信頼性の高い効率的なユニットです。精度と精度、高度なデジタルコントローラにより、半導体業界の品質保証業務に最適です。製品の品質を向上させながら、正確かつ効率的なウェーハ加工作業を提供することができます。