中古 DSC GROUP DSC 104 #9395307 を販売中

DSC GROUP DSC 104は、集積回路の製造におけるウェーハ処理をサポートするために設計された「その他のウェーハ処理」装置です。ウエハ表面のエピタキシャル層の堆積、化学機械研磨（CMP）、その他の関連用途に使用される汎用性の高いシステムです。また、デバイスのバーンイン、マイクロパターニング、光学検査、チップ試験にも使用できます。DSC 104には、幅広いウエハプロセスを実現する一連のコンポーネントが搭載されています。まず、このユニットには高真空室とヘリウムイオン源と電子銃が含まれており、ウェハ表面にエピタキシャル材料の薄い層を堆積させることができます。第二に、このツールには化学機械研磨（CMP）ヘッドが装備されており、基板は湿式または乾式の研磨が可能です。これは、ウェーハ表面を正確に平準化できるため、製造プロセスにおける重要なステップです。このほか、半自動ウェーハ処理ステーション、複数の検査ステーション（顕微鏡、イメージセンサー、レーザースキャンシステムなど）など、複数のコンポーネントも内蔵しています。これらのコンポーネントはそれぞれモジュラーモデルアーキテクチャに統合されているため、さまざまなモジュール間でデータと情報を簡単かつ効率的に転送できます。DSC GROUP DSC 104には、さまざまなプロセス制御およびフィードバックシステムが含まれており、プロセスのウェーハ蒸着および研磨段階を厳密に制御できます。これは、圧力センサや温度センサなどの複数のセンサと、イオンビーム電流を正確に制御するために使用される周波数インバータを使用して実現されます。周波数インバータは、材料沈着率などの他のプロセスパラメータを調整および監視するためにも使用されます。DSC 104は全体的に多様なウェーハ処理に使用できる汎用性の高い装置です。タイトなプロセス制御とフィードバックシステム、複数の検査モジュールとウェーハ処理ステーションで設計されており、生産環境に最適なソリューションです。システムのモジュール設計により、アップグレードとカスタマイズが容易になり、エレクトロニクス製造業界のさまざまなニーズに適しています。