中古 DETREX VS-2000-EW #138705 を販売中

DETREX VS-2000-EWは、半導体およびマイクロエレクトロニクス業界のニーズに対応するために設計されたウェーハ処理装置です。精度、速度、信頼性を提供し、さまざまな複雑な処理タスクを実行します。このシステムは、操作とセットアップを簡単にするための直感的なタッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。VS-2000-EWは、エッチングおよび成膜作業中のウェーハの正確な位置決めに3軸ユニットを使用しています。このマシンには、28位置のプロセスカセット、遠隔管理機能を備えた高度なツールコントローラ、およびクリーンな操作のための2段階の真空/エアフィルターアセットも装備されています。DETREX VS-2000-EWは、ウェットエッチングとドライエッチングの両方が可能です。エッチング速度を制御し、過剰エッチングからウェハを保護することができます。このモデルには、ウェーハ表面全体にわたって一貫したエッチング性能と温度の均一性を確保するための自動温度制御装置が装備されています。このシステムは、さまざまな処理ニーズに対応するさまざまなパワーとスピードオプションも提供しています。VS-2000-EWは様々な成膜プロセスを行うことができます。4ゾーン水晶管炉を搭載し、最大6ゾーン制御が可能です。このユニットは、圧電性を使用して再現性と正確なウェーハ厚さ制御も可能です。真空チャンバーは、広い領域に均一なフィルム成膜を可能にするように設計されていますが、水晶基板ホルダーは正確な調整と制御を保証します。DETREX VS-2000-EWは、ウェーハ処理の効率と精度を向上させるためのさまざまな機能も提供しています。セットアップとサイクル時間を監視および削減するインテリジェントマシンコントローラ、無駄のないパージとクリーンアウトツールを備えており、クロス汚染を低減します。この資産はまた、処理パラメータとパフォーマンスを追跡するためにコンピュータシステムを利用しています。VS-2000-EWの特徴を活かし、幅広いウエハ加工に最適です。