中古 DAIWA D0L-2810 #293643823 を販売中

DAIWA D0L-2810ウェーハ加工装置は、高度なウェーハ加工機能を提供するために設計された汎用性と信頼性の高いシステムです。多種多様なウエハサイズ・厚みに対応し、プロセス再現性に優れています。このユニットは、1バッチあたり10-25ウェーハの負荷ポート容量と、1バッチあたり4-8ウェーハのアンロードポート容量を備えています。このマシンは、1時間あたり最大250個のウェーハを処理できます。誘電層の堆積、平面化、パターニング、穴あけなど、多段ウェハ加工が可能なウェハ加工オプションを幅広く提供しています。このツールのユーザーフレンドリーなインターフェースは、操作を簡素化し、ユーザーに自動プログラミングを提供する組み込みのプロセスウィザードが含まれています。さまざまな種類のウェーハやプロセス条件に合わせて調整できるさまざまなプロセスパラメータを備えています。これは、ユーザーの特定のニーズを満たすようにD0L-2810を設定できることを意味します。このアセットには、ウェットエッチモジュールと高速CMPモジュールが装備されており、どちらも高スループットアプリケーション向けに設計されています。ウェットエッチモジュールは、異なるエッチング化学を処理することができ、エッチング深さ、流量、圧力などの調整可能なエッチングパラメータを備えています。CMPモジュールは、高いアスペクト比の構造を平面化および精製するように設計されており、優れた表面均一性を維持しながら、複数のステップ厚さを処理できます。このモデルには、アクティブセーフティガード、真空機器保護、内蔵のパッシブ消火システムなど、いくつかの安全機能が装備されています。また、モーションコントロールとセンサーが標準装備されており、ユーザーに異常または危険な状態を警告します。DAIWA D0L-2810ウェーハプロセッシングユニットは、信頼性と効率性が高く、包括的なカスタマーサービスプログラムによってサポートされています。また、このマシンには堅牢なサポートネットワークがあり、お客様がツールの最新情報、サポート、および部品に常にアクセスできるようにします。