中古 CRYSTAL Clean 960S #9301056 を販売中

CRYSTAL Clean 960Sは、ISO-1、 ISO-4、 UFG/UHEクリーニングなど、幅広い化学薬品やプロセスで動作するように設計されたスタンドアロンの他のウェーハ処理装置です。熱化学工程を組み込み、効率的かつ効果的な洗浄を可能にします。シングルウエハユニットは、最大150°Cの動作温度と1秒から60秒までの調整可能な時間を提供し、温度、時間、ランプ時間などのパラメータを自動的に制御します。この機械には、ウェーハをロードステーションからクリーンチャンバーに移動し、チャンバーからドライステーションに移動させる効率的なマテリアルハンドリングツールが装備されています。ステンレススチールチャンバーは、100 mmと200 mmの両方のウェハ径のために設計されているため、最大25個のウェーハを一度に収容することができます。さらに、振動のない操作とジェット機の導入により、より高い温度動作とより良い洗浄性能を容易にするユニークな設計が特徴で、ウェーハのすべての表面を同時に覆う多数のガスストリームを作成します。Clean 960Sは、ユーザーの安全とプロセスセキュリティを保証するさまざまな機能を提供します。各プログラムは最大99のプロセスサイクルを記録でき、最大4つのレシピが資産のメモリに保存されます。このモデルは、保存されたレシピの意図しない変更を防ぐためのロック機構を備えており、各ワークフローは電気機械的に保護されています。さらに、装置の自動安全弁、慣性安全ロック、フィルタマット、フローセンサーは、ユーザーの安全性をさらに保証します。ユーザーの視点から、CRYSTAL Clean 960Sは人間工学に基づいたタッチスクリーンパネルと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。システムの容易に取り替え可能なカートリッジおよびノズルは速く、容易なクリーニングの維持を促進します。最後に、少なくとも、ユニットは、品質、信頼性、および安全基準を意味する完全なCE認証を取得し、最小要件を超えて満たされています。