中古 CREST Ultrasonic #9042962 を販売中

CREST超音波は、高周波の音波を利用して半導体ウェーハ表面から物質を物理的に除去するウェーハ加工装置です。システムは「アクティブエネルギー」という概念に基づいています。これは、ウェーハの表面から物理材料を除去する機械的な力の適用です。連続的に高周波音波を使用することで、制御された方法で材料を除去することができます。さらに、ウェーハ加工に使用される材料に高い許容性の材料除去率を提供します。超音波ツールは、その材料除去プロセスで精度を提供します。これは、音波の正確なパルス長を提供する能力のおかげで可能です。これは、プロセスが信頼性と正確であることを保証するのに役立ちます。アセットはさらに、材料の除去の正確な深さを達成する方法を提供します、それは表面仕上げの異なるレベルを作成することができます。このモデルの非接触性により、過熱することなくウェーハから材料を除去したり、プロセス中にウェーハを損傷させる安全で効率的な方法です。CREST超音波の音波は、ユーザーが選択可能な周波数と振幅を使用して生成されます。これは、材料除去プロセスの均一性を提供するのに役立ちます。このプロセスはさらに、ウェーハに使用される幅広い材料に対して迅速で再現性のある正確な材料除去プロセスを提供します。超音波装置は、ウェーハがチャックに逆さまに配置され、クリーニングバスに水没したときに動作します。ヘビーデューティトランスデューサを使用して、20〜80 KHzの周波数で音波を生成し、最大30.000µmまで振幅します。トランスデューサによって作成された音波は、レンズとして機能し、ウェーハ表面にエネルギーを集中する洗浄液を通過します。このエネルギーは、ウェーハ表面に材料を局所的に転位させ、材料に機械的に誘発される転位を引き起こします。これにより、表面の材料が除去され、ウェーハが元の状態に戻ります。CREST超音波の物質的な取り外しプロセスは洗練されたソフトウェアアルゴリズムによってさらに制御されます。これは、プロセスが制御され、均一で正確であることを保証するのに役立ちます。さらに、ウェーハの材料除去プロセスを自動化し、材料条件や環境条件の変化に対応します。超音波ユニットは、半導体産業の表面仕上げプロセスのための材料除去から、航空宇宙、生物医学および自動車産業の研磨用途のためのコーティング除去まで、複数の産業での使用に適しています。このマシンは、幅広いユースケースを備えた精密な材料除去を提供し、さまざまな材料に対して精密で精密な仕上げ加工を提供します。