中古 CREST UC-1014-9-STA #9033734 を販売中
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ID: 9033734
ヴィンテージ: 1996
Ultrasonic wash line
9-Stations cleaning / Rinsing / Drying system
With an automated overhead robotic crane
Station # 1 Load station platform
Station # 2 Ultrasonic NMP wash tank
Station # 3 Ultrasonic NMP wash tank
Station # 4 Ultrasonic spray over immersion rinse tank
Station # 5 Ultrasonic wash tank
Station # 6 Ultrasonic spray over immersion rinse tank
Station # 7 Ultrasonic spray over immersion rinse tank
Station # 8 High efficiency recirculation hot air dryer
Station # 9 Unload station platform
(5) Water inlet lines:
Station #2 and #3 fill: (3/4" NPT S/S)
Station #4, #6 and #7 fill: (3/4" CPVC SCH 80)
Station #5 fill: (1/2" CPVC SCH 80)
Station #2, Heat exchanger inlet: (1/2" CPVC SCH 80)
Station #3, Heat exchanger inlet: (1/2" CPVC SCH 80)
(7) Water outlet lines:
Station #2, Drain: (1/2" OD S/S)
Station #3, Drain: (1/2" OD S/S)
Station #2, Heat exchanger outlet: (1/2" CPVC SCH 80)
Station #3, Heat exchanger outlet: (1/2" CPVC SCH 80)
Station #4, Drain: (3/4" NPT S/S)
Station #5, #6, #7 Drain: (2" CPVC SCH 80)
Station #8, Drain: (1/2" OD S/S)
(3) Air inlet lines:
Station #9, Blow off and auto lid: (3/4" OD SIS)
Station #2, #3, #5 Oscillation: (1/2" OD SIS)
Station #2, #3, Autofill: (112" OD SIS)
(Air transfer pump)
(7) Air outlet lines:
Station #2, (2) Exhausts: (3" OD Collar)
Station #2 & #3, (2) Exhausts: (3" OD Collar)
Station #3, (2) Exhausts: (3" OD Collar)
Station #9 Exhausts: (3" OD Collar)
Manuals included
Power: 100 A, 240 VAC, 3 phase, 60 Hz
1996 vintage.
CREST UC-1014-9-STAは、マイクロデバイス業界における幅広い用途向けに設計された汎用ウェーハ処理装置です。このシステムは、完全に自動化されたウェーハ転送モジュールと高度なウェーハ処理機能を備えており、最大16個のウェーハを同時に迅速かつ正確に処理できます。UC-1014-9-STAは150mmと300mmの両方のウェーハを最大2速で処理でき、最終的にはネイティブ4K解像度で処理できます。CREST UC-1014-9-STAは、高度なウェーハ処理アプリケーションに最適なパフォーマンスを提供します。高精度ステージと一体型ビジョンユニットにより、多数の部品を高精度に測定・加工できます。機械の自動化とワークフローの調整により、スループットを最適化し、処理時間を最小限に抑えることができます。UC-1014-9-STAウェーハ加工ツールは、プロセスの再現性と高精度な結果を重視して設計されています。高度な制御アルゴリズムを備えているため、アセットは正確なウェーハプロセスをすばやくキャリブレーションして設定できます。また、異なる処理スキームをすばやく切り替えることもできます。ユニットには、セットアップと簡単なリコールのためのレシピを保存する能力もあります。これにより、セットアップ時間と結果の精度が低下します。全体的に、CREST UC-1014-9-STAは、高い精度と再現性を備えたウェーハ加工に優れたソリューションを提供します。オペレータの介入を最小限に抑え、高いスループットと信頼性を実現するよう設計されています。汎用性の高い機能を備え、幅広いウェーハ処理アプリケーションに対応する信頼性と効果的なソリューションです。
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