中古 CREST PCS-2224 #9076979 を販売中

CREST PCS-2224は、ウェーハ加工用のパワーステージとRFジェネレータを備えた洗練されたその他のウェーハ加工装置です。高い精度、再現性、信頼性を実現するとともに、ウェーハの正確な取り扱いと加工に費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。PCS-2224は、イオンビームスキャナーとイオンインプラント室の2つの主要コンポーネントで構成されています。イオンビームスキャナは、ウェーハ位置決め用の高解像度スキャンステージと、ウェーハステージおよびその関連コンポーネント用の駆動システムを備えています。イオン注入チャンバーは、ウェーハ表面にイオンビームを適用し、回路などとのデバイス統合に必要な電気特性を作り出すために設計された高精度の装置です。CREST PCS-2224は、直径300mm、重量500Kgまでの重いウエハに対応できる3軸マニピュレータにより、業界最高の処理能力を提供します。また、4つのプログラム可能なスキャンセグメントをサポートし、ステップアンドリピート、オーバーレイ、ステップアンドスキャンなどの埋め込みプロセスを正確に実装します。さらに、このデバイスには最大1000時間の動作寿命を持つ大容量イオンソースと、100μAの出力電流を備えています。このデバイスは、さまざまなプログラマブルパラメータに依存して必要な埋め込みタイプに基づいて、アクションイオンビーム電流と電圧調整も可能です。ユニット管理を強化するために、ユーザーがデバイスを操作し、リモートでその性能を監視することができます高度な制御マシンをサポートしています。さらに、このデバイスは、お客様の既存のプロセス制御システムや通信プロトコルに統合するために、アナログやイーサネットなどの幅広いインタフェースを提供します。PCS-2224はまた、再現性と精度を備えた高い後処理の安定性を提供し、最適なウエハ特性を一貫して確実に製造することができます。これは、すべての主要な半導体およびマイクロエレクトロニクスプロセスと互換性があるように設計されており、すべての安全基準と規制を遵守しています。このデバイスは、製品が最高品質の要件を満たすことを保証できるように、関連する環境基準および指令、および健康および安全規制にも準拠しています。汎用性の高い機能とユーザーフレンドリーなインターフェースを備えたCREST PCS-2224は、すべてのウェーハ処理ニーズに対応するのに最適です。