中古 CREST Optimum #9131750 を販売中

CREST Optimumは、シリサイド製造などの半導体アプリケーションに最適な性能を提供するために設計された最先端のウェーハ処理装置です。これは、ロボットワークステーション、ロードロックシステム、および多数の高度なプロセスモジュールを含む、一連のハードウェアとソフトウェアシステムで構成されています。このユニットは、高いスループット、最大限の柔軟性、およびすべてのウェーハ製造プロセスに対する正確な制御を提供し、お客様が最高品質と信頼性の製品を生産できるようにします。マシンのロボットワークステーションは、最適ツールのコアを形成します。高度なオートメーション機能を備えており、手動で介入することなくウェーハの高速ロードとアンロードが可能です。このワークステーションは、クリーニング、計測、エッチングプロセスなど、さまざまなアプリケーションで最大12個のプロセスモジュールをサポートするように設計されています。さらに、統合された安全インターロックシステムは、危険な状況から資産のオペレータを保護します。このモデルには、メインチャンバーから分離された環境へのアクセスを提供するロードロック装置も装備されています。これにより、ロボットワークステーションのチャンバーにサンプルを正確かつ効率的にロードすることができます。ロードロックシステムには、統合された真空ユニットと、チャンバー内の大気を制御するための不活性ガス供給機が含まれています。CREST Optimumツールには、多くの高度なプロセスモジュールも組み込まれています。アモルファスシリコンモジュールは、高いスループットでの薄膜の精密な結晶化を可能にし、化学機械研磨（CMP）モジュールは、製造用途に超滑らかな表面を提供します。さらに、エピタキシーモジュールは、化合物半導体デバイスのファストトラック製造を提供し、その急速サーマルアニーリング（RTA）モジュールは、高速スループット性能を可能にする高度な加熱および冷却機能を提供します。ハードウェア機能に加えて、Optimum Assetには、モデルのプロセスモジュールの高度な監視と制御を容易にする包括的なソフトウェアスイートが装備されています。これには、ユーザーが製造プロセスのカスタムレシピを作成および保存できる組み込みのレシピマネージャと、システムのパフォーマンスをリアルタイムで包括的に把握できるプロセスデータ取得およびロギング機器が含まれます。CREST Optimum Unitは、優れた性能、最大限の柔軟性、および比類のない精度を提供する、幅広いウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションを提供するように設計されています。その特徴豊富なハードウェアとソフトウェアシステムは、複雑な半導体デバイスを作成するプロセスを変革し、お客様はコスト効率の高い方法で前例のない結果を達成することができます。