中古 CREST DSA-150-6L2-5.7L #9125189 を販売中

CREST DSA-150-6L2-5.7Lは、最大の生産性を達成するために設計された完全自動ウェーハ処理装置です。それは統合された光学および機械処理機能を特色にします。それは正方形、長方形、円形および長方形/標準を含むいろいろな基質のサイズおよび構成を、扱うように設計されています。このシステムは、高速制御プラットフォーム上で最大6つのウェーハを同時に処理できるため、スループットが向上します。CREST DSA-150-6L2-5.7Lを使用して、ウェーハスラリーをキャリアトラックにロードし、ユニットを介してウェーハを輸送します。その後、機械は前処理と処理のための多くの機能を提供します。最先端の光学系を使用して、最大の特徴定義と正確な層の厚さで基板材料を正確に処理します。これは、光学ツールキャリブレーションや2段階の基板登録など、高度な光学系と自動化されたプロセスの組み合わせを使用して達成されます。また、基板表面条件を最適化し、廃棄物を最小限に抑えるために、温度と湿度を正確に制御できるように設計されています。CREST DSA-150-6L2-5.7Lには、モデル制御ツールと手動メソッドを組み合わせた後処理ステーションも内蔵されています。この後処理ステーションは、エッチング、マスク、シール、およびウェーハ表面の研磨に使用して、希望の仕様を達成することができます。装置は保護カバーの範囲と完全に来、処理の後で残余の容易な取り外しを可能にするように設計されています。さらに、CREST DSA-150-6L2-5.7Lには統合されたプロセス制御システムが含まれています。このユニットは、高度な統計プロセス制御とデータ収集機能を提供し、オペレータがプロセスとパラメータを監視および制御できるようにします。このマシンを使用してデバイスのパフォーマンスを最適化し、歩留まりと再現性を向上させることができます。全体として、CREST DSA-150-6L2-5.7Lは優れた性能と効率を提供する高度なウェーハ処理ツールです。半導体、太陽電池、マイクロエレクトロニクス、医療機器製造など、幅広い業界の用途に適しています。統合された光学系および手動後処理機能により、正確な仕様を達成するための理想的なソリューションとなります。