中古 CREST 2800DA #9288204 を販売中

CREST 2800DAは、半導体製造設備で使用するために設計された高性能ウェーハ加工装置です。このシステムには、デルタ自動チャンバ、100MHzクロックソース、スキャンウェハアームが装備されています。Delta Auto-Chamberは、CRESTが開発した直径450mmまでのウェーハ加工用の独自装置です。ウェーハはプロセスチャンバと前処理チャンバの間で自動的に移動されるため、プロセスの効率が高く、迅速なサイクルタイムを提供できます。トリプルタレットスタイルのスキャンウェハアームは、高度なソフトウェアアルゴリズムによって制御されます。これにより、+/-0。8mmの精度でウェーハの位置決めが可能となり、ミスアライメントを低減し、品質の結果を保証します。2800DAには、ウェーハ処理の2つの主要なステップがあります。最初のステップでは、ウェーハは、それが洗浄され、プライミングされ、次の段階の準備ができている前処理室に入ります。2番目のステップでは、直接注入方法を使用して、2つの異なる化学物質が噴霧されるデルタ自動チャンバーにウェーハを転送します。化学薬品は正確に混合され、均一な方法でウェーハに噴霧され、結果として一貫したウェーハ品質が得られます。プロセスは完全に自動化されており、最大7つの化学物質を一度に噴霧して結合することができます。CREST 2800DAユニットは、加工のためのミクロン精度の分数で、信じられないほどの精度を誇っています。機械にまた正しいエッチングの速度を保障するためにプロセスの間に真空圧力を自動的に制御する真空の処理の特徴があります。さらに、このツールは、ウェーハ表面の均一な加熱と冷却を保証する温度制御機能を備えています。全体として、2800DAは、最適化されたパフォーマンスと生産性の向上を提供する高度なウェーハ処理資産です。それは非常に効率的で、ミスアライメントを減らし、正確な結果を提供します。このモデルの高度な機能と統合ソフトウェアは、高精度のウェーハ処理をお探しのお客様に最適です。