中古 CREST 133-4085 #9004428 を販売中

CREST 133-4085は、高速動作とウェーハ温度、向き、回転を正確に制御するために設計された最先端の自動ウェーハ処理装置です。133-4085は、1時間あたり最大300個のウェーハを処理でき、信頼性が高く、精密で多段階の加熱チャンバを備えており、ウェーハ処理に一定の温度帯を提供します。これにより、温度制御の精度が保証され、シリコン、ガリウムヒ素、ニッケル、銀などの様々な材料と互換性があります。CREST 133-4085は、自動化されたウェーハの向きとハンドリング機能でプログラムされています。その関節式、モーター式のウェーハハンドラは、ウェーハタイプ、向き、温度などのウェーハパラメータを評価して、正確に定義され制御された方向を厳密に判断します。このシステムは、ハンドラによるウェーハの正確な移動を可能にするために、調整可能な量の力を適用します。133-4085はまた、正確な温度制御ユニットを備えた調節可能なゾーンオーブンを備えており、ユーザーは正確に温度レベルを設定して維持することができます。オーブンはプロセス全体で均一な温度を維持し、正確な温度管理に最適です。さらに、このオーブンは省エネと耐久性のある発熱体を使用しており、効率的で経済的な操作を可能にします。このマシンは、ウェーハの低圧処理を可能にするために統合された真空チャンバーを備えています。真空レベルは10Paまで正確で信頼性の高い結果で達成することができます。さらに、真空ツールはプロセス全体に正の差圧を提供し、最大の安全性を提供します。CREST 133-4085には、リアルタイムのデータ駆動制御機能を提供するプログラマブルロジックコントローラも付属しています。PLCは、アセット内のさまざまなコンポーネントと機能を制御するために、複数のロジックを統合します。さらに、自動故障診断モデルを備えており、故障または故障を瞬時に報告します。133-4085は、多様なウエハータイプの処理に使用できる信頼性の高いユーザーフレンドリーな機器です。自動化されたウェーハの向きと処理機能、調節可能なゾーンオーブン、真空チャンバー、および正確な温度制御、安全性の向上、自動故障診断機能のためのプログラム可能なロジックコントローラを提供します。