中古 COMCO MicroBlaster MB02-3C #9095720 を販売中

COMCO MicroBlaster MB02-3Cは、高性能プラズマクリーニングとエッチング技術を活用したユニークなウェハ加工装置です。このシステムは、シリコン、サファイア、酸化ケイ素など、さまざまなウェーハ材料の表面清浄度を高め、エッチング率を向上させることを目的に設計されています。立体的な動きとプラズマストライエーション機能を備えています。内蔵の3Dスキャナとインデックス作成オプションにより、柔軟性と精度が向上します。MicroBlaster MB02-3Cはコンパクトで効率的な設計で、最先端のウェーハ処理システムの1つです。耐久性に優れたロープロファイルステンレスフレームを搭載し、最大200mmのウエハーに対応可能です。MicroBlasterには、最大200ワットの直流（DC）と500ワットのRF電力を生成する強力な無線周波数（RF）発電機があり、迅速かつクリーンなエッチングを実現します。COMCO MicroBlaster MB02-3Cには、機械の動作を簡単かつ効率的に制御するための高度なソフトウェアスイートが付属しています。ソフトウェアには、高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、リアルタイムレシピオートメーション、自己診断、温度監視設定が含まれており、ユーザーはいくつかのウェーハプロセスをプログラム、監視、管理できます。MicroBlasterは、エッチング操作とクリーニング操作の両方に対応できます。エッチング工程では、酸素を含む乾燥した大気を使用し、洗浄工程では、表面汚染物質を除去するために周囲および超乾燥プロセスガスを使用します。また、現場でのプリエッチングおよびポストクリーンなモニタリングにより、清潔度を正確に測定し、高品質のエッチング結果を保証します。MicroBlaster MB02-3Cは、資産と人員を保護するための包括的な安全機能を搭載しています。これらの機能には、潜在的な危険を回避するためのソフトウェアベースのオーバーライドプリプログラムされたシーケンス設定、プラズマの安定性を維持するための二次RFジェネレータ、および人員の安全のためのプラズマ閉鎖メカニズムが含まれます。さらに、完全に密閉されたシャーシと内蔵の冷却モデルは、プラズマ過負荷に対する保護を提供します。結論として、COMCO MicroBlaster MB02-3Cは、コンパクトな設計で独自の精度と安全性の組み合わせを提供する超高性能のウェーハ処理装置です。このシステムを使用すると、さまざまなウェーハ材料を素早く正確にエッチングし、クリーンで均一な結果を得ることができます。