中古 BUEHLER 60-2499 #293649427 を販売中

BUEHLER 60-2499は、超薄型ウェーハやその他の繊細な基板を加工するために設計された、完全に自動化された4ゾーンの熱酸化炉です。この装置のモノブロック設計により、正確な温度と均一性が保証され、最高品質のウェーハプロセスが可能になります。60-2499は精密な制御および高度の絶縁材の設計によって温度の安定性および精密を最大にするように設計されています。炉は4つの異なる加工ゾーンで構成されており、それぞれ独立した絶縁冷却室と排気室があります。この設計により、各ゾーンを個別に正確に制御することができ、製造のすべての段階で一貫したプロセス条件を保証します。高度な空冷断熱材と統合冷却システムの使用は、温度安定性を高めながらエネルギー消費を削減するのに役立ちます。BUEHLER 60-2499には、高度なガス監視およびプロセスフロー制御センサも組み込まれており、基板加工における一定の性能と再現性を確保しています。60-2499は20nmと200nmの間の厚さと直径4"までウェーハを処理することができます。調節可能なスリット高さを備えており、+/-2µm内のスリット高さを正確に制御できます。BUEHLER 60-2499はまた処理を保障するために砂の精密なベッドを特色にします。FUI （Furnace User Interface）は、基板のパラメータを迅速かつ便利に設定するために含まれています。60-2499はさまざまなウェーハ処理の必要性のための高性能の熱酸化の単位です。正確な温度制御と高度なプロセスモニタリング技術により、あらゆるプロジェクトで一貫した再現性のあるパフォーマンスを実現します。さらに、その空冷断熱設計と統合冷却機は、優れた性能とエネルギー効率を提供します。堅牢で正確な設計により、BUEHLER 60-2499は、最高品質のウェーハ製造結果を達成するために探しているプロセッサにとって理想的なツールです。