中古 BRANSONIC 3510J-MTH #9377403 を販売中

BRANSONIC 3510J-MTHは、大量生産環境向けに設計された高性能ウェーハ処理装置です。このシステムは、バルクおよびシングルウェーハのMTH（拡散）操作を1つのユニットで実行する2段階のシーケンシャルプロセスを備えています。このマシンは、最初にMTHプレコートをウェーハに適用し、続いてMTH材料の高エネルギー蒸着を行う2段階の拡散ツールを使用しています。この2段階の拡散プロセスにより、MTH層の高い均一性が得られ、MTH蒸着中の温度の均一性が大幅に向上します。また、大型ウェハハンドリング機能を備えており、大型ウェハへの効率的な材料蒸着、自動ウェハトランスファー機能により、スピードとスループットを向上させます。このモデルは、最大300mmまでのウェーハを効率的に処理することができ、最大で1時間あたり1500個のウェーハを処理することができます。この装置は高度なプロセス制御システムを備えており、最適な結果を得るためにMTH蒸着プロセスを正確に制御することができます。また、さまざまな監視機能を備えており、ウェーハやプロセスからのリアルタイムデータ収集、必要に応じてMTH蒸着パラメータへのリアルタイム調整が可能です。このユニットには、迅速かつ簡単なメンテナンスのための堅牢な設計が含まれており、ダウンタイムを最小限に抑え、効率を最大限に高めます。これには、迅速な交換のためのすべてのコンポーネントへの容易なアクセス、および迅速かつ簡単に再構成を可能にするモジュラー設計が含まれます。このマシンには、包括的なリモート監視および制御ツールも含まれており、オペレータは最適なパフォーマンスを確保するためにMTH蒸着プロセスをリモートで監視および調整することができます。全体として、3510J-MTHは、大量生産環境におけるMTH蒸着のための信頼性と効率性の高いソリューションを提供するように設計された、高性能で大量のウェーハ処理資産です。このモデルの独自の2段階拡散プロセスと高度なプロセス制御装置は、MTH層の高い均一性を提供しますが、その大きなウェハハンドリング機能と自動ウェハトランスファー機能は、速度とスループットを向上させます。また、堅牢な設計と簡単なアクセスコンポーネントを備えており、迅速かつ簡単なメンテナンスを提供し、ダウンタイムを最小限に抑えます。最後に、包括的なリモート監視および制御ユニットにより、オペレータは最適なパフォーマンスを達成するためにMTH蒸着プロセスをリモートで監視および調整することができます。