中古 BRANSON / IPC 250 U/S #9195060 を販売中

IPC 250 U/Sウェーハ処理装置は、毎時200ウェーハで25mmウェーハ用に設計されたウェーハ処理システムです。ポストエッチング/クリーン加工が可能で、さまざまな高精度ウェハアプリケーションに最適です。脆弱なウェーハのエッジの損傷を軽減するために設計された低力接触処理機を備えています。このツールは、連続的なプロセスウェーハトランスポートにより、大規模なバッチ間でも、エッチングとクリーンプロセスの非常に高い均一性を提供します。このウェーハ加工資産には多くの利点があります。ウェーハ接触処理モデルは、接触力が非常に低く、ウェーハの可視シフトも最小限に抑えられており、いずれも脆弱なウェーハや複雑な構造を持つウェーハにとって重要な機能です。この装置の主な特徴は、エッチングおよび洗浄操作において均一性と再現性を提供することです。つまり、同じプロセス条件を安全に使用することができ、各ウェーハは毎回同じポストエッチング/クリーンプロセスを受け取ります。システムに存在する基板キャリアも、より多くの利点を追加します。3ポイントウェーハ接触機構は、位置決めと最小加工摩耗の正確な再現性を確保するように設計されています。ウェーハは、各ウェーハエッジの3点で均一にサポートされているため、プロセスサイクル中の局所加熱により、ウェーハがバックルしたり変形したりすることはありません。BRANSON 250 U/Sウェーハ加工ユニットには、ハイテク制御ツールを備えた機械設計が統合されています。これにより、最初から最後まで完全なプロセス制御が可能になり、オペレータはプロセスを監視し、トレーサビリティを提供することができます。また、オプションのクリーニングモジュールを備えており、ポストエッチング/クリーンプロセスを統合できます。このアセットには、モデルのカスタマイズやアップグレードを簡単にするさまざまなアクセサリーも付属しています。付属品には、ウェーハを指定ステーションの特性に戻すためのウェーハトランスポートモジュールと、汚染を最小限に抑えてシステムを損傷から保護する装置を収容するためのステンレススチールエンクロージャ、および統合されたポストエッチング/クリーンプロセス用の追加モジュールが含まれています。BRANSON/IPC 250 U/Sウェーハ処理ユニットは、ウェーハ処理の要求に応え、最高の精度と再現性を提供するように設計されています。低力接触処理機はウェーハの損傷を最小限に抑え、オプションのクリーニングモジュールはポストエッチング/クリーンプロセスを追加します。このツールは、さまざまな高精度ウェハアプリケーションに最適です。