中古 BRANSON B8200R-4 #170892 を販売中

BRANSON B8200R-4は、回転チャック、高度なウェーハハンドリング技術、高度な温度制御、および優れたプロセス精度を含む最先端のコンポーネントを備えたウェーハ加工用プロセス機器です。このシステムは、精密な熱および機械的処理を必要とするアプリケーション向けに設計されており、さまざまなアプリケーションに対応するさまざまなモジュールが含まれています。B8200R-4は、固定速度で動作し、最大4つのウエハを収容することができる回転チャックで構成されています。チャックの回転は、加工中のウェーハの加熱と冷却に役立ちますが、チャックと4軸の変換はウェーハ全体の温度分布を均一にするのに役立ちます。温度は高度なPIDベースの温度コントローラを介して制御され、最大チャック速度でも± 0。2°C以内に正確です。BRANSON B8200R-4の高度なウェーハ処理技術は、ウェーハのサイズや厚さに関係なく、ウェーハの正確な配置とアライメントを保証します。ウェーハの取り扱いや搬送作業においてウェーハを確実に保持し、意図しない移動や加工中のずれを防止します。回転チャックにより、複数のウエハを連続して迅速かつ正確に処理できます。B8200R-4ユニットはまた、オプションの高度な化学常駐ステーションを提供しており、汚染を最小限に抑えた化学プロセスの正確かつ正確な配信を可能にします。ケミカルデリバリーステーションには、デュアルポンプと正確な温度制御が装備されており、試薬や酸をウェーハに正確かつ安全に適用することができます。BRANSONのB8200R-4機械はまた不必要なプロセス副産物の取り外しのための任意排気のスキッドを含んでいます。排気スキッドはB8200R-4に直接接続することができ、有毒ガスやその他の有害化学物質を安全かつ効率的に除去することができます。スキッドには、潜在的な汚染や損傷からツールを保護するように設計されたプリフィルターもあります。BRANSON B8200R-4は、高精度のウェーハ処理用に設計された、信頼性の高い堅牢な資産です。高度な温度制御、精密な化学供給、堅牢なウエハハンドリングを組み合わせることで、ウェハプロセスに多彩なアプリケーションを提供します。このモデルは、正確な熱および機械的処理を必要とするアプリケーションに最適で、正確で信頼性の高い結果を保証します。