中古 BRANSON 8510 #9230907 を販売中
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BRANSON 8510は、接合、めっき、スパッタリングなどの用途向けに設計された多機能ウェハ加工装置です。このシステムは、カスタムコンポーネントの統合を可能にする汎用性の高いモジュラー設計を備えています。重要なアプリケーション、高効率製品の生産、一貫した品質に最適化されたプロセス環境を提供します。モーションコントローラ、多軸駆動、視力検査機など、さまざまな制御システムを備えています。このツールには、スクラバー、プラテン、化学機械研磨(CMP)ソリューションなど、さまざまな洗浄機能が含まれています。アセットの統合されたプラテンは、均一性、温度の均一性、および速度を向上させますが、ケミカルメカニカルポリッシング機能により、研磨面の特性を正確に制御できます。視力検査モデルは、ウェーハのプロセスサイクルの自動検査を提供します。さらに、プロセス制御モジュールは、ユーザーのニーズに応じて特定のパラメータにウェーハの処理を可能にします。この装置は、さまざまな生産シナリオ向けに設計されており、さまざまなウェハプロセスツールに接続することができます。このシステムは、組み込みソフトウェアスイートを通じてプロセスとパラメータを正確に制御します。また、リアルタイムのプロセス監視と最適化、インテリジェントな歩留まり分析、欠陥検出など、さまざまなプロセス分析も備えています。このユニットは、高速、正確、再現性のある製造プロセスを提供し、コストを削減し、歩留まりを改善します。ウェーハ処理機能に加えて、温度制御、アラームシステム、ファン制御、オンライントレーサビリティ、品質レポートなどのさまざまな機能を提供します。さらに、エッチング、乾燥およびウェットエッチング、酸化、リソグラフィ、アニールなど、さまざまな表面レベルのプロセスを処理するために使用できます。全体として、8510は、今日の半導体製造の最も要求の厳しい要件を満たすように設計された高度なウェーハ処理ツールです。モジュール設計、さまざまな機能、自動化されたプロセス制御により、アセットは歩留まりを改善し、製品品質を向上させるのに最適なソリューションです。
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