中古 BRANSON 5510 #293765155 を販売中

BRANSON 5510は、さまざまな材料を正確かつ一貫した処理を行うために使用される他のウェーハ加工装置です。この装置には、搬送システム、物理蒸着（PVD）電源、自動ウェーハ処理、ロボット搬送が含まれます。搬送ユニットは、基板をPVD電源に配置し、プロセスが完了すると取り外すように設計されています。このマシンは、最大10インチウェーハに対応でき、より高いスループットと高精度のための標準および逆転の両方のオプションを備えています。このツールは、プロセスを実行する前にウェーハのサイズを検出できるウェーハサイズ認識も備えています。PVD力は資産の主要部分です。最大5ウェハまで対応可能なフルサイズのチャンバーで、複数のスパッタリングターゲットが利用可能です。これは、高精度と再現性で、ほぼすべての厚さのコーティングを堆積するために直流技術を使用しています。また、水平RFコイルを採用し、基板への電力分配も可能です。自動化されたウェーハ処理装置は、各ウェーハがプロセス中にきちんと維持され、移動されることを保証します。ウェーハの温度や湿度を監視し、ウェーハのセンタリングやチャンバーのツーリングへの配置、PVD電源との送受信など、さまざまな作業を実行します。最後に、ロボット転送システムを使用して、複数のチャンバ間で最大8ウェーハを同時に転送します。多数のロボット経路を備えており、セルのあらゆる点に到達し、高速かつ正確にウェーハをロード/アンロードし、品質管理を行うことができます。5510は、堅牢で自動化された機能により、伝統的なコーティングと成膜から高度な研究まで、あらゆる用途に理想的なウェーハ処理ユニットです。それは容易に顧客に最高レベルの満足を提供する複雑で、精密なコーティングプロセス性能を提供できます。