中古 BRANSON 3510R-DTH #293627287 を販売中

BRANSON 3510R-DTHは、マイクロエレクトロニクス洗浄用途向けに設計された高度なウェットケミカルウェハ処理装置です。このシステムは、バックグラインディング、低kエッチング、SiNxストリッピング、ダイおよびウェーハ洗浄、表面処理、フリップチップの不動態化に最適です。革新的なDTH （DeepTrack Heated）機能を備えており、特許取得済みのサイクロン技術を使用して、エッジからエッジまでの基板全体をクリーニングし、最上位から底部まで比類のない効率で洗浄します。3510R-DTHは、2つの熱室、2つの真空チャンバー、およびクローズドループ化学供給機を備えたアップグレード可能なユニットです。2つの熱室はそれぞれ60までウェーハを握り、400°Cまで温度に抗できます。これにより、Si、 GaAs、 InP、 SOIなど、さまざまな基板材料を処理できます。このツールは、任意の熱プロセス中に各ウェーハに最適な温度-時間プロファイル制御用に設計されています。2つの真空チャンバは、400Lの大容量を有し、<10-8 torrの圧力に達することができます。これにより、チャンバーからの最大の放出が保証されます。クローズドループケミカルデリバリーアセットは、使用される化学物質と濃度を完全に制御するように設計されています。これにより、ユーザーは最大の効率でさまざまなプロセスに必要な特定の化学を調整することができます。DeepTrack Heated （DTH）機能は、サーマルチャンバーによって作成されたウェーハ処理中の差動温度プロファイルを利用します。これは強力なサイクロン効果を生み出し、残留物のない均一な基質カバレッジを保証します。これは、低Kエッチングおよびバックグラインド用途に最適です。さらに、BRANSON 3510R-DTHにはカスタマイズ可能なソフトウェアパッケージが付属しており、ユーザーはプロセスパラメータを迅速かつ簡単に調整できます。このソフトウェアはまた、モデルの完全な診断制御を可能にし、ユーザーが処理中に各ウェーハの状態を知ることができます。3510R-DTHは、今日の市場で最も先進的なウェットケミカルウェーハ処理システムの1つです。2つの熱室、2つの真空チャンバー、革新的なDTH機能により、洗浄、エッチング、および表面処理において前例のない制御と効率を提供します。そのカスタマイズ可能なソフトウェアパッケージは、さまざまなプロセスパラメータを迅速かつ簡単に制御するだけでなく、機器の完全な診断制御を提供します。このシステムは、マイクロ電子洗浄アプリケーションに最適であり、その高度な機能により、業界に革命をもたらします。