中古 BLACKSTONE / NEY AQ-4-1620 #9251767 を販売中

BLACKSTONE/NEY AQ-4-1620は、半導体業界向けに設計された「その他のウェーハ加工装置」です。多段オーガーフィーダーシステムを使用して、さまざまな生産段階でウェーハを処理します。このユニットは、ダイアッタリング、ダイソート、メッキ、ウェハソーイング、ウェハ加工など、さまざまな作業に使用できます。NEY AQ-4-1620は完成品の速く、精密な点検のための単一ビームレーザーの走査器が装備されています。これは、自動的に除去されたウェーハをソートし、欠陥のあるウェーハを拒否することができます。さらに、コンベアベルトから1〜2本のウェーハを一度に取り出し、生産ラインの残りの部分に干渉しないように別々に処理するように設計されています。BLACKSTONE AQ-4-1620は、複数のガス貯蔵および配送システムも提供しています。これらのシステムは、ウェーハ処理に必要なプロセスガスを効率的かつ費用対効果の高い方法で提供するように設計されています。この機械は、窒素（N2）、酸素（O2）、アルゴン（Ar）など、最大10個のガスを内蔵タンクに格納できます。また、400-500 PSI圧縮空気に接続してウェーハ処理チャンバにオンデマンドガスを供給することもできます。さらに、AQ-4-1620には複数の独立した温度および圧力コントローラが装備されています。これにより、さまざまな要件のプロセス条件を正確かつ効率的に制御できます。このツールはまた、必要に応じて加熱されたプロセスチャンバーを避難させるために真空圧力センサーと湿式/乾式真空ポンプを提供します。BLACKSTONE/NEY AQ-4-1620は、EthernetまたはWi-Fiを介してインターネットに接続し、リモート管理と監視を行うことができます。HTTP、 FTP、 SNMPなど、いくつかの通信プロトコルをサポートしています。また、TCP/IP経由でMODBUSを介して資産を制御することも可能です。モデルは3つの異なったサイズで利用でき、安全規格EN ISO 4762およびIEC61400-3に迎合的です。