中古 BENTELER tecWasher 10/2c #9219620 を販売中

BENTELER tecWasher 10/2cは、洗濯機とスピンドライヤモジュールを搭載し、処理後のウェーハの洗浄と乾燥を可能にする先進的で革新的なウェーハ処理装置です。このシステムは、半導体製造業向けに設計されており、小型および大型ウェハのバッチおよびインライン処理を提供します。Plasma&VaporPhaseTech® （PVPT）洗浄技術を搭載しており、低温中間温度で汚染物質を除去する優れた洗浄性能を提供します。PVPT技術は、40〜60°Cの温度で粒子、異物、残留物を除去し、ウェーハを損傷することなく安全な動作を保証します。ウェーハ表面の濡れた乾燥した前処理が可能で、最適なエネルギー効率と短いサイクル時間で低コストでの運転に最適です。BENTELER tecWasher 10/2cは、独立したプロセスチャンバーとPVPT洗浄機能を備えた2つの独立したワッシャーを1つのハウジングに搭載しています。これにより、小型ウェーハと大型ウェーハの同時洗浄が可能になるだけでなく、機械の生産性も向上します。オプションのインラインスピンドライヤモジュールは、粒子除去効率の向上と、特定のウエハサイズに合わせて調整できるドライヤサイクルを提供します。このツールのコンパクトな設計とオプションの統合プロセスライン制御により、既存のクリーンルーム環境に統合できます。タッチスクリーンおよびPLCのパネルは特定のプロセス条件のためにプログラムすることができる容易なユーザー制御を可能にします。統合された予防保守クラスタは、必要に応じて消耗品を交換する専用の「洗浄とスピンドライ」サービスプログラムを提供することで、最高品質のクリーニングを保証します。最後に、デジタルデータロギングアセットは、安全なアクセスと監視のために、すべての主要な操作パラメータを中央データベースに格納します。これにより、プロセス・サイクル・パフォーマンスのトレーサビリティと詳細な分析が可能になり、さらにプロセスの最適化や運用上の問題の診断が可能になります。全体として、BENTELER tecWasher 10/2cは、効率的なウェーハ処理のための強力なモデルであり、優れた洗浄性能、プロセス時間の最適化、効率的なプロセスライン制御を提供します。コンパクトかつ一貫した設計で特徴を兼ね備えているため、半導体やウェハ関連加工に最適です。