中古 BARON BLAKESLEE SCS-425 #9021062 を販売中

BARON BLAKESLEE SCS-425ウェーハ加工装置は、大量生産および研究アプリケーション向けの幅広い処理能力を可能にするために設計された高性能ツールです。最先端の設計により、SCS-425は一度に最大4つの8インチウェーハを処理することができ、高度なエッチング、マスキング、成膜機能など、包括的なアプリケーション機能を提供します。BARON BLAKESLEE SCS-425には、処理能力を最適化し、生産性を向上させるために設計されたいくつかの機能が装備されています。これらには、エッチング、マスキング、成膜という3つのコア処理機能の間にウェーハを正確に配置するための温度制御システムと二軸モーター式ウェーハステージが含まれます。温度制御ユニットは、オペレータの干渉なしに各ウェーハの一貫した信頼性の高い温度制御を保証します。一方、二軸モーター式ウェーハステージにより、ウェーハの3次元方向が可能になり、エッチング、マスク、および蒸着プロセスを正確に制御できます。また、高解像度のデジタルカメラモジュールSCS-425、プロセス制御と検出機能を強化することができます。この統合されたカメラマシンは、処理中に各ウェーハの数千の写真を撮影することができ、また、各ウェーハ上のマスキングと堆積層のパターン品質を検査するために使用することができます。BARON BLAKESLEE SCS-425には、プロセス手順の監督と監視にかかる時間を短縮するように設計された高度なオートメーションツールも装備されています。このツールはデータログに必要なすべてのプロセスパラメータを記録し、自動化されたプロセス制御アセットは必要に応じてパラメーターを自動的に調整します。また、ウェーハローダーとアンローダーを自動化し、ウェーハの非接触移動を確保し、損傷の可能性を排除します。SCS-425は、安全で信頼性の高い操作を可能にする高度な安全機能を備えています。これらの機能には、安全カーテン、目に見えるバリアレーザー、および次のサイクルを開始する前にウェーハが完全に処理され安全であることを保証するためのカメラベースのインターロック装置が含まれます。これらの機能は、ウェーハが可能な限り最も効率的で安全な方法で処理されることを保証します。結論として、BARON BLAKESLEE SCS-425ウェーハ処理ユニットは、大量のプロセスアプリケーションで信頼性、精度、効率を提供するように設計された高性能な機械です。高度なオートメーションツールと包括的な安全機能により、プロセス制御を強化し、最大4つの8インチウェーハを処理するための生産性を向上させます。SCS-425は、堅牢な機能を備えた高性能ツールを必要とする研究および生産アプリケーションに最適なソリューションです。