中古 BARON BLAKESLEE MLR-120 #142292 を販売中

BARON BLAKESLEE MLR-120は、Blakeslee Process Solutionsによって開発され、温度、圧力、およびその他のプロセス条件を正確かつ正確に制御できるように設計された最先端のウェーハ処理装置です。このシステムは、フォトリソグラフィ、ウェット、アニーリング、スピンコーティングなどのさまざまな技術をサポートすることができます。MLR-120は、プロセスの配列のための理想的でカスタマイズされた環境を作成するように設計されています。それは動的熱制御および圧力制御のための選択の広い範囲を提供します、単一のバッチ処理または異なった温度、圧力および時の複数の操業を可能にします。自動真空過圧ユニット、内蔵温度コントローラ、広範囲の標準温度および圧力センサを備えています。温度は、10インチまたはそれ以上の直径領域で+/-1°Cの均一性を持つ1000°Cまで周囲から制御することができます。プロセス圧力は、10インチの領域で+/-1/2 Torrの均一性を持つ0から10 Torrに調整することもできます。BARON BLAKESLEE MLR-120は、特定のプロセス要件を満たすように個別に設定することもできます。それは頑丈なステンレス鋼の包装および部屋はさみ金および堅牢なステンレス鋼の反作用バッフルおよび皿と組み立てられます。取り外し可能なステンレス鋼の反作用の部屋は処理を容易にするように設計されています。チャンバーは排気ポートを介して通気され、安全で効率的な操作が可能です。さらに、MLR-120はまた、高度なソフトウェア制御を提供しています。ソフトウェアを通じて、ユーザーは簡単に使用する事前にプログラムされたレシピやシーケンスを含む圧力、温度、時間、周波数、サイクルパラメータを制御することができます。また、このソフトウェアを使用すると、プロセスの結果を保存したり、本番データにアクセスしたり、パラメータを変更したりすることで、プロセスのパフォーマンスを向上させることができます。BARON BLAKESLEE MLR-120ウェーハ加工ツールは、ウェーハの加工にスピードと精度をもたらします。その幅広い機能により、ユーザーはプロセスを合理化し、信頼性と再現性の高い結果を達成し、最適な製品品質を保証することができます。