中古 AUTOCLEAN ISG-2000 #9151316 を販売中

AUTOCLEAN ISG-2000は、ウェーハ処理のためのさまざまな洗浄および乾燥方法を提供する自動ウェーハ処理装置です。この技術は、ウェーハを高解像度で最大スループットで処理できる汎用性の高いシステムです。精密な洗浄・乾燥作業により、加工時に敏感なウェーハに損傷を与えるリスクを低減するよう設計されています。ユニットはベースユニットと複数のカートリッジで構成されています。これらのカートリッジは、水性または溶剤ベースの洗浄、LPCVDドライヤー技術、赤外線乾燥機など、さまざまな洗浄および乾燥方法を提供できます。これらの各カートリッジは、ベースユニットにスライドマウントされており、最大スループットを得るために素早く交換して再ロードすることができます。ウエハーの裏面または裏面も同時に処理することができ、処理に要する時間を短縮します。ISG-2000は、2つの粒子検出システムの選択で正確な洗浄と乾燥を提供することができます。標準的な方法は、光パーティクルイメージアナライザを使用して粒子を1ミクロン以下のサイズで検出します。微粒子イメージング装置は、3ナノメートル以下の小さな粒子を検出するためにも利用可能です。このツールには、内蔵の過熱検出アセットや内蔵の操作安全タイマーなど、さまざまな安全機能が装備されています。過熱検出モデルは、温度が設定された制限値を超えると、機器を自動的にシャットダウンします。運用安全タイマーは、システムのランタイムを追跡し、事前設定された使用制限を超えた場合にシャットダウンします。AUTOCLEAN ISG-2000は耐食性のステンレス鋼から組み立てられ、タッチスクリーンのオペレータインターフェイスは優秀なユーザー制御を提供します。このユニットには、エネルギー効率とコスト削減のための電力管理マシンも含まれています。ISG-2000は、高いスループット、精度、安全性を提供するウェーハ処理用の信頼性の高い自動化ツールです。洗浄および乾燥技術のその多目的な選択は最大のプロファイリングの柔軟性を提供します。この信頼性の高い資産は、高性能で費用対効果の高い生産のための信頼性の高いプラットフォームをユーザーに提供します。