中古 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT X30A #9037537 を販売中
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AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT X30A「その他のウェーハ処理」装置は、半導体業界におけるウェーハレベルおよびデバイスレベルのパッケージング作業を自動化するために設計された、洗練された多目的システムです。この最先端のユニットは、スループットを向上させ、コストを削減するための統合された高速で費用対効果の高いソリューションを提供します。この機械は異なったプロセス部屋間のウェーハの切換えそして交通機関を可能にします。AAT X30Aは、5つの自動ロードロックと手動で操作された裏面クリーニングチャンバーを備えた統合ロードロックツールを提供しています。この高効率なアセットは、複数のウエハサイズ、形状、基板を一気に処理することができます。高速ウェーハ転送速度と高度な自動化を提供し、ダウンタイムを大幅に削減し、生産性を向上させます。また、標準プラズマ、イオン注入、エッチング、蒸着チャンバーなど、さまざまなウェット処理チャンバーと同様に、より高いスループットのためのバッチ処理装置も提供します。フレキシブルなシステムにより、ユーザーフレンドリーな制御インターフェースと自動化されたウェーハハンドリング機能により、ユーザーはプロセスをより良く制御およびカスタマイズできます。また、低粒子生成(汚れ)動作を提供し、ダウンタイムを削減し、チップ収率を向上させます。このユニットには、高度な制御機と強力なソフトウェアが装備されており、ユーザーは各ウェーハのデータを監視、記録、保存、視覚化することができます。ウェーハの傷、エッジチップ、汚れを検出するためのハイエンドビジョンツールと、洗練された欠陥検出アセットを提供します。さらに便利なことに、Austin AMERICAN TECHNOLOGY X30Aは、既存のファクトリーオートメーションシステムや設備との完全な統合も提供しています。また、優れたアクセシビリティで設計されており、ユーザーはコンポーネントをすばやく変更し、設定をすばやく構成できます。フットプリントの小型化、高度な機能、信頼性の高い動作により、X30Aは半導体業界のウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。
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