中古 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet EC #9016322 を販売中

AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet ECは、迅速かつ正確な半導体処理用に設計された精密ウェーハ処理装置です。このシステムは、ウェーハを損傷することなく正確にクリーニング、エッチング、または堆積することができる独自の「ジェットエッジ」機能を使用しています。ジェットエッジ技術は、高圧酸素または窒素を駆動力として使用し、ウェーハの非常に正確な洗浄、エッチング、および堆積を実現します。ノズルの可変焦点面の調整により、表面を損傷することなく、ウェーハを非常に正確に沈殿、清掃、エッチングすることができます。AAT Microjet ECツールは、4インチから8インチまでのウェーハサイズに対応し、最大6mmのウェーハ厚を実現します。このアセットは、ジェットエッジプロセスで窒素と酸素の両方を使用することをサポートしており、ユーザーはさまざまなタスクにデポジットレート、エッチングレート、およびクリーニングパワーを設定できます。このモデルには汚染モニターも搭載されており、ウェーハをきれいに処理するのに役立ちます。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet EC装置には、ポンプ、ノズルアセンブリ、および制御の3つの主要なコンポーネントがあります。ポンプにより、高圧窒素と酸素をノズルに向けることができます。ノズルアセンブリは調節可能な焦点面の調節によってセットアップされ、ウェーハのエッチングおよびクリーニングの正確さのために制御から調節することができます。制御にはフィーダー、コントローラ、エアラインが含まれます。フィーダは供給コントローラとして機能し、コントローラは正確な速度制御とタイミングを実行します。エアラインは、ノズルに空気圧を実行し、その方向を制御するだけでなく、空気圧とノズル角度のテストを可能にします。Microjet ECシステムは、ウェーハのクリーニング、エッチング、およびデポジットを非常に正確かつ効率的に行う方法を提供し、ウェーハの損傷とターンアラウンドタイムの両方を低減します。その可変的な焦点面の調節はエッチングおよびクリーニングの正確さを保障します、汚染物モニターは清潔さを保障します。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet ECは、精密な処理を必要とするあらゆる半導体製品に最適なソリューションです。