中古 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT Microjet D/C #9256486 を販売中

AAT Microjet D/Cは、半導体アプリケーションのニーズに合わせた包括的なウェーハ処理装置です。革新的な統合システムであり、シリコンまたは化合物半導体デバイスの製造における最大の稼働時間と効率を可能にします。このユニットには、スピンコーター、エッチャー、ドライヤーなどの高度なプロセスツールが装備されており、ウェーハ処理の前後に幅広い成膜および硬化コンプライアンスが可能です。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY Microjet D/Cは、特許取得済みの高度なMicroJet技術を使用して、ウェーハ上に薄膜を堆積し硬化させるときに比類のないレベルの精度を達成します。この技術は、均一で高品質の誘電体の層で、非常に均一な厚さを提供します。さらに、ジェットテーブルエアフローは、ウェハの端のフィルム均一性を最大化し、粒子の汚染を最小限に抑えます。このマシンはまた、ウェーハ処理を最適化するための包括的なプロセス制御スイートを提供しています。このスイートを使用すると、主要性能インジケータの監視、各種ウェーハの蒸着流量の最適化、ガスフローの均一性の確保、リアルタイムのフィルム品質情報の表示が可能になります。このスイートは、複数のインライン分析ツールを統合して、より良い制御とトレーサビリティを実現します。これらの分析ツールには、分光計、粒子カウンタ、FTIR、およびラマン分光計が含まれます。また、廃棄物処理アセット、発電機、エアスクラバーを内蔵し、厳しい環境基準を維持しています。廃棄物処理モデルは危険物の安全な処分を保証し、発電機とエアスクラバーは機器が地域の排出規制と互換性があることを保証します。全体として、AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT Microjet D/Cは、効率的で効果的なウェーハ処理のための包括的で信頼性の高いソリューションです。高度なプロセスツール、包括的なプロセスコントロールスイート、および厳しい環境基準は、すべて、このシステムで処理されたすべてのウェーハが品質を維持し、安全規制に準拠することを保証します。