中古 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT ARS 218 #9234903 を販売中

AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT ARS 218
ID: 9234903
Dryer / Developer.
AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT ARS 218は最先端のウェーハ加工装置です。このシステムは、産業生産環境に効率的かつ堅牢な処理能力を提供するように設計されています。AAT ARS 218ユニットは、適切なプロセス技術を使用して、メモリ、ロジック、および光電デバイスを含む離散ウェーハと結合ウェーハの両方を処理することができます。このマシンには、完全に自動化されたマルチキャビティカセット指向のロードポートが付属しており、さまざまなロボットハンドリングシステムと接続することができます。AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY ARS 218は、プロセス監視、データロギング、およびプロセス制御機能も備えており、ウェーハ処理が正確で繰り返し可能であることを保証します。すべての気流およびプロセス部屋は周囲環境から完全に隔離されます。すべてのプロセスと環境制御システムは完全に認定されており、適用可能な安全仕様を満たしています。このツールはまた、基板温度、厚さ、平坦度を測定できる複数の計測センサーなど、いくつかの高度なプロセス監視システムを統合しています。これらの機能により、正確かつ制御されたウェーハ処理が可能になり、より高い歩留まりとスループットが向上します。また、高性能ガスシーケンサーを搭載し、正確なタイミングで蒸気相化学配列を作成します。これにより、カスタムプロセスの可能性を含む幅広いプロセス機能が可能になります。他のウェーハ処理モデルには、さまざまな自動検証および検証プロセスが装備されており、機器がいつでも完全に動作するようになっています。ARS 218は、効率的で信頼性の高いウェーハ処理を必要とするアプリケーションに最適な選択肢であり、優れた歩留まり率とスループット性能を提供します。また、様々なプロセスや計測技術をサポートし、複数のウェーハプロセス技術の応用が可能です。
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