中古 AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY / AAT 9700 #9228052 を販売中

ID: 9228052
Batch cleaner Power requirements: 208/230 V, Single phase, 50/60 Hz, 20 A.
AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700は、さまざまな半導体アプリケーション向けに設計されたオールインワンのウェーハ処理装置です。このシステムはスケーラブルに設計されており、1ユニットあたりの最大ウェーハ数は最大9個です。さらに、さまざまな種類のウェーハにパーソナライズされた製品を提供できる高度な生産制御マシンを備えています。このツールには、高温エピレディウェーハを処理する機能が含まれており、RFペーパーや基板レベルのアプリケーションなど、さまざまなアプリケーションに適しています。ウェハローディングのために、AAT 9700は、最新の生産プロセスの要求を満たすために必要なオートメーションのレベルで、フルフレームとハーフフレームのウェーハの正確で自動的なローディングとアンロードを提供します。このアセットは、柔軟性の高いアーキテクチャと産業用グレードのコンポーネントの信頼性の高い使用により、マルチチャンバー、マルチステップウェハ処理が可能です。ウェーハは、モデルに直接ロードするか、既にロードされているウェーハ容器で統合された加熱炉に加工することができます。サンプル加熱のために、AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY 9700は、1500ºCまで温度に達することができる単一または複数のチャンバー加熱炉で正確な温度制御を提供します。炉の中の温度の均等性は汚染を避けるために空気のパージのための自己含んだガスラインと維持することができます。その他の機能としては、ガスハンドオフシステムや高温環境への偶発的な暴露を防ぐための安全システムなどがあります。プロセス制御と監視のために、9700には機器の構成と管理を可能にする多数の統合ソフトウェアシステムがあります。これらには、ウェーハ処理のすべてのファセットをコンピュータ制御するための統合されたソフトウェアおよびハードウェアベースのシステムが含まれます。これには、すべての生産プロセスの自動化と、品質管理とメンテナンスに必要な情報のロギングが含まれます。ユニットレベルでは、このマシンは早い段階でプロセス内の潜在的なエラーを検出する診断が可能です。最後に、AUSTIN AMERICAN TECHNOLOGY/AAT 9700は、ユーザー効率を最大限に高めるように設計されたさまざまな追加機能とサービスを提供します。これには、リモート診断、リモートアクセスおよびサポートサービス、およびより複雑な操作のためのカスタムソフトウェアプログラミングが含まれます。これらのサービスはすべて、ウェーハ処理サイクルをできるだけ多く制御できるように設計されています。全体として、AAT 9700は、他のさまざまなウェハプロセスアプリケーション向けの効率的で信頼性の高いツールです。その統合ソフトウェアシステム、柔軟なアーキテクチャ、温度制御機能により、さまざまなアプリケーションに適しています。
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