中古 ASTEX AX 8403A #9092833 を販売中
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販売された
ID: 9092833
Ozone generator
Max. Ozone Output: 160 g/hr
Flow Range: 5 to 20 slm
CE Marked
208V, 3 Ph, 50/60 Hz, 20A.
ASTEX AX 8403Aは、最先端のウェーハ加工プロセス向けに設計された最先端のウェーハ加工装置です。このシステムは、さまざまな特殊なウェーハ製造ニーズに最適です。印象的なデザインと構造により、ASTEX AX 8403 Aは複数のタスクを同時に実行し、正確な仕様にすることができます。ウエハ表面のエッチング、堆積、剥離などの工程を行える革新的なノズル設計を採用しています。これは、より簡単で正確な操作を可能にする機能です。ノズル設計により、ウェーハの移動精度も向上します。AX 8403Aはまた、エッチング処理を正確に制御できる自動ウェーハ処理オプションを提供します。自動化されたオプションは、ロボットアームのように機能し、チャンバー内のウェーハの配置とウェーハの処理を自動化することができます。この機能により、製造手順中にウェーハを移動および操作することがはるかに簡単になります。AX 8403 Aはまた、統合された温度制御機と統合された加熱および冷却ステージを備えています。この統合されたツールは、ウェーハの温度が適切な範囲で制御され、保持されることを保証します。統合された温度制御アセットは、製造プロセス中にウェーハが損傷しないようにするのに役立ちます。また、ASTEX AX 8403Aは、ウェーハ表面の様々な特徴を正確に測定できる高解像度イメージングモデルを搭載しています。ウェーハ表面の厚さ、表面の傾き、ウェーハの表面積などの詳細な測定が可能なイメージング装置です。ASTEX AX 8403 Aには、加工チャンバー内でのウェーハ移動を可能にする汎用性の高いウェーハハンドリングアームも含まれています。これは、AX 8403Aを非常に汎用性の高い処理システムにする機能です。AX 8403 Aの中心には、強力で信頼性の高いモーションコントロールユニットがあります。このモーションコントロールマシンは、ウェーハの正確な位置を特定して正確な処理を行うために使用されます。これは、製造工程で精度を達成するために不可欠な機能です。ASTEX AX 8403Aは、最先端のウェーハ加工ニーズに合わせて設計された最先端のウェーハ加工ツールです。印象的なノズル設計、自動化されたウェーハ加工オプション、統合された加熱および冷却されたステージ、高解像度のイメージング資産、および強力で信頼性の高いモーションコントロールモデルにより、この機器はさまざまな特殊なウェーハ製造ニーズに最適です。
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