中古 ASTEX AX 7685 #293642868 を販売中

ASTEX AX 7685は、洗浄、コーティング、半導体製造など、さまざまなウェハ加工アプリケーション向けに設計された最先端のウェーハ加工装置です。このシステムは、最大200mmのウェーハサイズに対応でき、プラズマエッチング、蒸着、酸化、ウェット露出システムなど、さまざまなプロセスチャンバーで動作するように設計されています。AX 7685は、ユーザーが優れた精度と制御を維持しながら、迅速かつ効率的にウェーハを処理することができます。このユニットは、マルチゾーンリニアトランスポートマシン（LTS）、プラズマエッチングチャンバー、フラッドチャンバー、プロセスチャンバーの4つの主要コンポーネントで構成されています。LTSは、ウェーハを安全かつ確実に搬送するように設計されており、相互汚染のリスクを排除します。プラズマエッチングチャンバーは、プラズマベースの処理に関連する高いエッチング速度を利用して、エッチングの均一性を向上させ、フィーチャーエッジを低減します。洪水チャンバーは、ウェーハ上の一貫したプロセスリソグラフィを保証するために、さまざまなLEDを使用しています。最後に、プロセスチャンバーは温度、圧力、プロセスレシピ制御を可能にし、ウェーハ処理に最大限の柔軟性を提供します。ASTEX AX 7685は、ウェーハを最高品質に一貫して処理するための革新的な機能を提供します。このアセットは、使用可能なプロセス面積800cm2の±2.5µm精度を備えており、ユーザーに最高の解像度と精度を提供します。さらに、ウェーハ加工時のエアーダスト粒子、静電気、振動などの環境汚染の影響を低減するよう設計されています。さらに、最大限の安全性と精度を確保するために、ウェーハレベルのプロセスデータと安全アラームを追跡するための包括的な監視システムも付属しています。AX 7685は、最高レベルの精度と精度を維持しながら、大量の生産環境で動作するように設計された、強力で信頼性の高いウェーハ処理システムです。ユニットは、ユーザーのアプリケーションの特定の要件を満たすために調整することができ、最大の柔軟性とコスト効率を確保します。ASTEX AX 7685は、大小のウェーハを処理する能力を備えており、ウェーハ処理能力を高め、ウェーハ品質を向上させたいお客様に最適です。